[实用新型]一种单凸梁式微机械加速度传感器有效
| 申请号： | 201320386160.5 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN203365461U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 孙远程;袁明权;张茜梅;王海青;武蕊;屈明山 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单凸梁 式微 机械 加速度 传感器 | ||
1.一种单凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板（5）；其中，敏感芯片含有框架（1）、敏感凸梁（2）、质量块（3）、压敏电阻，其连接关系是,所述框架（1）内设置有敏感凸梁（2），敏感凸梁（2）的一端与框架（1）相连，另一端与质量块（3）相连，敏感凸梁（2）和质量块（3）共同构成敏感芯片的可动部分；压敏电阻设置在敏感凸梁（2）上表面：所述的敏感芯片与下玻璃板（5）通过键合连接。
2.根据权利要求l所述的单凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的敏感凸梁（2）采用长度相等的上矩形梁、下矩形梁复合而成。
3.根据权利要求2所述的单凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的敏感凸梁（2）中的上矩形梁的宽度小于下矩形梁的宽度，两者宽度之比为0.2～0.8。
4.根据权利要求2所述的单凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的下矩形梁的厚度与上矩形梁的厚度之比为0.2～5。
5.根据权利要求l所述的单凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于，所述的压敏电阻设置为四个，放置在敏感凸梁（2）的顶部，四个压敏电阻首尾相接构成一个正方形，正方形的四个边分别与框架（1）的四个边平行。
6.根据权利要求1所述的单凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的可动部分与下玻璃板（5）之间的距离为2μm～20μm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院电子工程研究所，未经中国工程物理研究院电子工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320386160.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：信号传输装置及其信号传输头
- 下一篇：一种专用于油品老化试验装置
