[实用新型]镀膜腔用隔板

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别是涉及一种镀膜腔用隔板。 

背景技术

卷绕式真空镀膜技术因具有生产效率高等优点而广泛用于生产各种柔性功能薄膜，如ITO透明导电薄膜的生产。 

卷绕式真空镀膜设备通常包括镀膜辊以及环绕镀膜辊周围设置的若干镀膜腔，镀膜辊与镀膜腔之间设有一隔板，隔板的中部设有一窗口，镀膜腔与窗口正对的部位上设有靶材。在以柔性基材为基底进行镀膜时，柔性基材的一侧绕设于镀膜辊上，并在外力的作用下滑过镀膜辊，而柔性基材的另一侧与隔板贴近或贴合。镀膜时，镀膜腔内产生大量高能粒子，高能粒子轰击靶材而将靶材溅射到基底上形成镀层。同时，部分高能粒子撞击隔板的两端。随着镀膜过程的持续，隔板的两端的温度持续升高，同时由于传统的隔板的两端为单层金属结构，热量容易传导至与隔板贴近或贴合的柔性基材上，导致柔性基材受热卷曲，得到质量较低的柔性功能薄膜。 

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能有效减少热量传导至柔性基材上的镀膜腔用隔板。 

一种镀膜腔用隔板，包括U型槽板、第一折边、第二折边、第一挡板及第二挡板； 

所述U型槽板的槽底的中部设有贯穿所述槽底的窗口； 

所述第一折边及所述第二折边分别与所述U型槽板的两侧壁的顶部连接； 

所述第一挡板及所述第二挡板均横跨于所述U型槽板且均与所述第一折边及所述第二折边连接。 

在其中一个实施例中，所述第一挡板及所述第二挡板靠近所述窗口的边缘 分别与所述窗口的两端的边缘正对。 

在其中一个实施例中，所述第一挡板及所述第二挡板远离所述窗口的边缘均位于所述U型槽板的两端的端缘之间。 

在其中一个实施例中，所述第一挡板及所述第二挡板为铝压铸而成，所述U型槽板、所述第一折边及所述第二折边为铝压铸一体成型。 

在其中一个实施例中，所述镀膜腔用隔板还包括相对设置的第一防滑块及第二防滑块，所述第一防滑块及所述第二防滑块分别设于所述第一折边及所述第二折边上，并分别邻近对应的第一折边或第二折边的一端。 

在其中一个实施例中，所述U型槽板的槽底与所述第一挡板及所述第二挡板之间的间隔距离为10～100毫米。 

在其中一个实施例中，所述U型槽板的槽底上设有加强筋，所述加强筋的两端分别与所述U型槽板的两侧壁连接。 

上述镀膜腔用隔板相对与传统的隔板，其在窗口的两端设有横跨U型槽板的第一挡板及第二挡板，从而使得本应打在U型槽板的槽底上的高能粒子打在第一挡板及第二挡板上。而且U型槽板具有一定的深度，从而使得第一挡板及第二挡板与U型槽板的槽底之间存在间隔距离，在真空环境下，热量从第一挡板及第二挡板上传导至槽底上的速度很慢，从而使得槽底的温度不会很高，进而能有效减少由槽底传导至柔性基材上的热量，柔性基材不会因高温受热卷曲，从而能得到质量较高的柔性功能薄膜。 

附图说明

图1为一实施方式的镀膜腔用隔板的结构示意图； 

图2为图1中的镀膜腔用隔板中的本体的结构示意图； 

图3为图1中的镀膜腔用隔板的左视图； 

图4为图1中的镀膜腔用隔板在镀膜腔中的工作状态图。 

具体实施方式

下面结合附图对镀膜腔用隔板进行进一步的说明。 

如图1及图2所示，一实施方式的镀膜腔用隔板10，包括本体100、第一挡板200以及第二挡板300，其中，本体100包括U型槽板110、第一折边120及第二折边130。 

U型槽板110包括槽底112及两侧壁，槽底112的中部设有贯穿槽底112的窗口114。在本实施方式中，窗口114为长方形。通常情况下，在镀膜腔的尺寸允许的条件下，窗口114的长（柔性基材20移动的方向）可以尽量的大，而窗口114的宽通常需要根据柔性基材20需要镀膜的区域的宽来确定。可以理解，在其他实施方式中，窗口114也可以为其他形状，如梯形。 

在本实施方式中，还在U型槽板110的槽底112上设有加强筋116，加强筋116的两端分别与U型槽板110的两侧壁连接，从而使得U型槽板110更牢固，不易变形。 

第一折边120及第二折边130分别与U型槽板110的两侧壁的顶部连接。在本实施方式中，U型槽板110、第一折边120及第二折边130采用铝压铸一体成型的方式得到本体100。第一折边120及第二折边130与镀膜腔中的卡槽相匹配，以便使镀膜腔用隔板10能够自镀膜腔的一端沿卡槽滑入并固定于镀膜腔中。