[实用新型]一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱

权利要求书

1.一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，包括箱体（1）；其特征在于：所述箱体（1）的内腔中设有隔板（2），隔板（2）将箱体（1）的内腔分成温水区（4）和冷水区（5）两部分，并且隔板（2）的底端设有连通温水区（4）和冷水区（5）的通孔；所述温水区（4）的底部设有温水出水口（10），其顶部设有温水进水口（11）；所述冷水区（5）的底部设有冷水出水口（17），其顶部设有冷水进水口（18）。 

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述箱体（1）由钢制框架和钢板焊接而成，所述隔板（2）为钢板。 

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述箱体（1）的底部设有支撑脚（3），箱体（1）的顶部设有上盖（13），且上盖（13）位于温水区（4）一侧。 

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述温水区（4）和冷水区（5）的容积相等。 

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述箱体（1）的外部包覆有保温层。 

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述温水区（4）和冷水区（5）中均设有支撑架（6），支撑架（6）分别与隔板（2）和箱体（1）内壁固定联接。 

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述温水出水口（10）有两个，且设在箱体（1）的前面板上；所述冷水出水口（17）有三个，且设在箱体（1）的前 面板上。 

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述温水出水口（10）的口径大于冷水出水口（17）的口径。 

9.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述温水进水口（11）和冷水进水口（18）各有两个。 

10.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，其特征在于：所述箱体（1）的后面板的底部设有排污口（7）和液位计（8），并且排污口（7）和液位计（8）均设在冷水区（5）一侧且排污口（7）位于液位计（8）的下方；箱体（1）的后面板的顶部设有溢流口（9），并且溢流口（9）设在温水区（4）一侧；箱体（1）的顶板上设有补水口（12），并且补水口（12）位于冷水区（5）一侧。