[实用新型]一种硅片装夹装置有效
| 申请号： | 201320390130.1 | 申请日： | 2013-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203426851U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 周建国;夏利荣 | 申请（专利权）人： | 常州市立威刀具有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽，其特征在于：容置槽的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板，以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构，在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板，以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件。
2.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置，其特征在于：所述容置槽的槽底开设有滑槽，压紧板、辅助压紧板的底端设置有与滑槽相配合的滑块。
3.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置，其特征在于：所述容置槽的左端内壁设置有固定板，所述固定板通过螺钉固定连接在容置槽上，弹性件固定设置在固定板与辅助压紧板之间。
4.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置，其特征在于：所述驱动机构为驱动油缸，驱动油缸固定设置在容置槽上，压紧板固定连接在驱动油缸的活塞杆端部。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种硅片装夹装置，其特征在于：所述弹性件为弹簧或“Z”型弹片。
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