[实用新型]一种铝基三层金属膜石英晶体微天平传感器有效
| 申请号： | 201320393747.9 | 申请日： | 2013-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN203299075U | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 曹忠;黄大凯;曹婷婷;吴玲;宋天铭 | 申请（专利权）人： | 长沙理工大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市雨花区万家*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三层 金属膜 石英 晶体 天平 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种铝基三层金属膜石英晶体微天平传感器，其特征是：该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)基底是镀铝膜层(2)，所述镀铝膜层(2)表面是镀钛膜层(3)，所述镀钛膜层(3)表面是镀金膜层(4)，形成一种基于铝基三层金属膜的石英晶体微天平传感器。
2.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述镀铝膜层(2)厚度为1 ~ 50 nm。
3.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述镀钛膜层(3)厚度为20 ~ 200 nm。
4.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述镀金膜层(4)厚度为20 ~ 200 nm。
5.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述石英晶体片(1) 为AT切型石英晶体，其基频为4 ~ 50 MHz。
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