[实用新型]一种DES检验平台

说明书

技术领域

本实用新型具体涉及一种DES检验平台。

背景技术

DES检验是蚀刻作业中的一道重要的工序，必须经过DES检验才能进一步操作，一般DES检验有首检和全检两种检测方式，首检一般都是针对首板的，只有通过首检才可以进一步操作，如果发生检验不合格品，将作出标志，退回重新修改，现有的DES检验普遍都是通过零散的几个工具组成的，这样不利于整体操作，检测效率不高。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

针对上述问题，本实用新型目的是提供一种流水线检测、效率高的DES检验平台。

(二)技术方案

本实用新型的DES检验平台，包括台体、台面、清洁装置和线宽线距测量装置；所述台面设置在台体正面；所述清洁装置活动的贴合台面；所述线宽线距测量装置安装在台面的一侧。

进一步地，所述的台体一侧还设置有结果记录平台。

进一步地，所述的线宽线距测量装置为百倍镜。

进一步地，所述的清洁装置为可拆卸结构。

(三)有益效果

本实用新型相比较与现有技术，其具有以下有益效果：本实用新型的DES检验平台整体性好，操作人员可以流水线作业，通过清洁装置将台面清洁干净，接着目测首板是否正常，然后通过线宽线距测量装置进一步检测首板的线宽线距，判断是否正常，如果有无效区，则用笔标出，在结果记录平台上做好记录，操作者可以在一个平台上实现所有检测目的，完成结果登记，使用简单、效率高。

附图说明

图1是本实用新型实施例的整体结构示意图。

1-台体；2-台面；3-清洁装置；4-线宽线距测量装置；5-结果记录平台。

具体实施方式

如图1所示的DES检验平台，包括台体1、台面2、清洁装置3和线宽线距测量装置4；所述台面2设置在台体1正面；所述清洁装置3活动的贴合台面2；所述线宽线距测量装置4安装在台面2的一侧。

所述的台体1一侧还设置有结果记录平台5。

所述的线宽线距测量4装置为百倍镜。

所述的清洁装置3为可拆卸结构。

本实用新型的DES检验平台整体性好，操作人员可以流水线作业，通过清洁装置将台面清洁干净，接着目测首板是否正常，然后通过线宽线距测量装置进一步检测首板的线宽线距，判断是否正常，如果有无效区，则用笔标出，在结果记录平台上做好记录，操作者可以在一个平台上实现所有检测目的，完成结果登记，使用简单、效率高。

上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。