[实用新型]精密离心机主轴径向回转误差与倾角回转误差测试装置

权利要求书

1.一种精密离心机主轴径向回转误差与倾角回转误差测试装置，所述精密离心机的空气静浮轴承的气浮支架上设置有电容测微仪，其特征在于：所述电容测微仪为六个，六个所述电容测微仪三个一组分别设置在所述空气静浮轴承的两个横截面上，两个横截面上的所述电容测微仪之间两两对应平行。

2.根据权利要求1所述的精密离心机主轴径向回转误差与倾角回转误差测试装置，其特征在于：所述测试装置还包括增量式光栅编码器、光栅编码器变换电路、多路同步数据采集卡和六个信号调理器，所述光栅编码器变换电路包括展宽电路、时钟选择电路和分频电路，所述展宽电路的信号输入端与所述增量式光栅编码器的Z相脉冲信号输出端连接，所述展宽电路的信号输出端与所述多路同步数据采集卡的第一数字IO接口连接，所述时钟选择电路的信号输入端分别与所述增量式光栅编码器的A相脉冲信号输出端、所述增量式光栅编码器的B相脉冲信号输出端和所述多路同步数据采集卡的第二数字IO接口连接，所述时钟选择电路的信号输出端与所述分频电路的信号输入端连接，所述分频电路的信号输出端与所述多路同步数据采集卡的外部采集时钟接口连接，六个所述电容测微仪的信号输出端分别与六个所述信号调理器的信号输入端连接，所述多路同步数据采集卡的多路模拟输入接口分别与六个所述信号调理器的信号输出端连接。