[实用新型]一种用热丝法制备TiC涂层的高温化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 201320404896.0 | 申请日： | 2013-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN203346470U | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 胡东平;刘伟;李建国;季锡林 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所;四川中物超硬材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/32 | 分类号： | C23C16/32;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 杨春 |
| 地址： | 621908*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用热丝 法制 tic 涂层 高温 化学 沉积 装置 | ||
1.一种用热丝法制备TiC涂层的高温化学气相沉积装置，包括进气系统和真空系统，所述真空系统包括真空腔体和耐酸机械泵，所述耐酸机械泵的出口与所述真空腔体的第一进口连接，所述进气系统包括氢气瓶、甲烷瓶、四氯化钛密封瓶和混气室，所述氢气瓶的出口、所述甲烷瓶的出口和所述四氯化钛密封瓶的出口分别与所述混气室的进口连接，所述混气室的出口与所述真空腔体的第二进口连接，其特征在于:所述进气系统还包括氩气瓶，所述氩气瓶的出口与所述四氯化钛密封瓶进口连接，所述真空腔体内设置有加热钨丝。
2.根据权利要求1所述的一种用热丝法制备的TiC涂层的高温化学气相沉积装置，其特征在于：所述加热钨丝为多根且并列排列，所述加热钨丝的两端分别搭接在两个电极上，所述电极外接有直流电源。
3.根据权利要求2所述的一种用热丝法制备的TiC涂层的高温化学气相沉积装置，其特征在于：所述电极为内装冷却循环水的不锈钢管。
4.根据权利要求1所述的一种用热丝法制备的TiC涂层的高温化学气相沉积装置，其特征在于：所述真空腔体内壁底部设置有可旋转、升降的工件盘。
5.根据权利要求1所述的一种用热丝法制备的TiC涂层的高温化学气相沉积装置，其特征在于：所述氢气瓶的出口上设置有氢流量控制器，所述甲烷瓶的出口上设置有甲烷流量控制器。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
