[实用新型]一种多晶硅纯度优化设备有效

专利信息
申请号: 201320407628.4 申请日: 2013-07-10
公开(公告)号: CN203187408U 公开(公告)日: 2013-09-11
发明(设计)人: 周胜平;王凤咏;张胜涛;李瑞民;芦方全;王林 申请(专利权)人: 中石化工建设有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 050046 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 纯度 优化 设备
【权利要求书】:

1.一种多晶硅纯度优化设备,包括加热炉体、坩埚、加热板、冷却装置、铸型升降装置,其特征在于:所述加热炉体为一罩壳结构,该加热炉体顶部设置有顶盖,该加热炉体一侧连接有真空泵,另一侧连接有阀体;所述坩埚设置在所述加热炉体内,所述冷却装置设置在该坩埚底部,设置在加热炉体底部的隔热板与所述冷却装置、加热炉体共同构成封闭腔体;所述坩埚外壁上设置加热板;所述冷却装置设置有热开关,该热开关与所述坩埚的底部连接,该冷却装置的底部分别设置有冷却水进口和冷却水出口;冷却装置周边设置有保温壁,该保温壁与所述隔热板连接;所述铸型升降装置设置在冷却装置的下部。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅纯度优化设备,其特征在于:所述坩埚为陶瓷坩埚,在坩埚的内壁上设有涂层。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅纯度优化设备,其特征在于:所述炉体内设置有石墨加热棒,该石墨加热棒设置在坩埚的顶部。

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