[实用新型]具有对正、反面雕刻功能的雷射雕刻机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种雷射雕刻机，尤其是指一种具有对正、反面雕刻功能的雷射雕刻机。

背景技术

在科技日新月异的现代化社会中，用于信息通信等各式各样的科技产品愈来愈繁杂，而应用在该些科技中的各种电子、机械元件成为该等科技产品，是否能够具备有多样化功能的推手，其中，在大部分的电子或自动化的产品中，大多数都包含有控制芯片以作为产品电子讯号的控制及处理最重要的核心元件；该芯片所制造的源头在于原始所生产出的晶圆片，因而晶圆片的质量的控制，将关系到后续所制造出的芯片质量良或劣。

因此，为了控制与管理该晶圆片的质量良率，一般在晶圆片的制造过程中，其会在每一晶圆片上雕刻出不同字符编号，使每一晶圆片好与坏皆可透过该编号来达到控制，借以提高晶圆片生产质量及数量的管理。

一般现有为人工徒手式于晶圆上进行刻字，而在徒手方式中，作业员在每一晶圆片表面上，手持一刻字笔以刻划出不同的特定编号，以使该每一晶圆片皆具有一特定编号，如此可透过该编号来达到控制，借以提高晶圆片生产质量及数量的管理。

然而，现有人工徒手式晶圆刻字方式其具有下列的缺失：

1.由于每一作业员刻划力道不同，所刻出的字体及运用的力道皆无法达到统一，使得特定编号呈现字体形状、大小、及刻字深度等字型尺寸皆无法达到一致性，因而无法有效掌握其刻字质量。

2.当使用力道过大时，不但容易限制该晶圆片在刻号字数上的数量，并且也造就该晶圆片的破片情况产生。

3.由于每个作业员的卫生习惯不同，使得每个作业员在取放该晶圆片时的清洁作业程度不同，导致晶圆片于刻字过程中潜藏污垢及破片的可能性。

4.再者，由作业员直接取放该晶圆片，因此无法管制该晶圆片上的污垢洁净度、破片及人使用力道，实须改善。

有鉴于此，本设计人针对上述人工徒手式的晶圆片的检测及管理结构设计上未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有对正、反面雕刻功能的雷射雕刻机，其可于检测过程中，矫正待刻产品的方向性外，同时并且可翻转该产品，以于该产品正、背面进行雕刻，自动化检测和管理，操作方便。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种具有对正、反面雕刻的雷射雕刻机，其包含有：

一机台；一入料装置，其设于该机台上且放置有欲雕刻的产品；一收料装置，其设于该机台上且收纳雕刻后该产品；一对正装置，其包括有一基座，一设于该基座上且可吸附该产品的旋转盘，一设于该基座上且可夹持该产品的夹整器，以及一设于该基座上可进行寻边的传感器，其中，该夹整器具有两呈对应且可开/闭合的挟持件，同时该两挟持件间形成有供产品放置的置放槽，并且该置放槽位置对应该旋转盘；及一传输装置，其包括有多个相互枢设的传动臂，一枢设于该其一传动臂且可水平翻转的旋转臂，一设于该旋转臂上的置料盘，以及一设于该置料盘上的吸附单元；一雷射装置，其设于该机台上，且发出一雷射光以于该产品上进行雕刻；及一控制装置，其分别控制该雷射装置、传输装置、对正装置作动。

上述传感器为影像传感器。

上述产品为晶圆片。

采用上述结构后，本实用新型具有对正、反面雕刻功能的雷射雕刻机借由传输装置、对正装置的设计，使得该传输装置可直接由该入料装置取得产品后，并且输送至该对正装置进行产品方向对正后，同时透过该传输装置直接承载该产品至该雷射装置下方进行雕刻作业外，并且欲反面时亦可直接透过该传输装置进行翻转，进而提升检测的准确度与检测效率。    

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的立体图；

图2为本实用新型一较佳实施例的制造流程图；

图3至图7本实用新型一较佳实施例的动作示意图。

符号说明 

3雷射雕刻机      31机台          32入料装置

33收料装置       34对正装置      35传输装置

36雷射装置       37控制装置      341基座

342旋转盘        343夹整器       344传感器

3431挟持件       3432置放槽      351传动臂

352旋转臂        353置料盘       354吸附单元