[实用新型]圆筒旋转银靶

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种圆筒旋转银靶，尤其是涉及一种应用于大面积磁控溅射镀膜的圆筒旋转银靶。

背景技术

随着国家节能减排政策的执行力度加大以及人们对低碳环保意识的加强，以低辐射玻璃为代表的节能玻璃在门窗、玻璃幕墙中的应用越来越广泛。低辐射玻璃家族中，节能性能优异的双银低辐射玻璃得到大量应用。

目前平面靶存在溅射效率低，换靶频繁，生产成本高等缺点，而旋转靶材具有利用率高、使用时间长、溅射过程中产生较少的电弧等优点，因而日益受到人们的关注。

银层作为低辐射玻璃的主要功能层，在金属银靶的使用上，仍然是以平面银靶为主，且在工业化应用中存在银靶利用率低等问题。

实用新型内容

鉴于上述状况，有必要提供一种可提高利用率的圆筒旋转银靶及其制备方法。

一种圆筒旋转银靶，包括圆筒不锈钢衬管及圆筒含银靶材，该圆筒含银靶材的内径与该圆筒不锈钢衬管外径之间采用过盈配合组装。

该圆筒含银靶材为纯银靶材或银合金靶材，其中银合金中银的含量占总重量的比重为90%～100%。

该圆筒含银靶材由多节组成，每节长为200mm～300mm，内径为132.5mm；其中一节与另外一节的连接部的外径为152～160mm；并且其中一节与另外一节间距小于或等于0.5mm。

该圆筒含银靶材的外表面均匀光滑，内壁面均匀光滑。

该圆筒含银靶材具有内螺纹，该内螺纹宽度为1～2mm。

该不锈钢圆筒衬管的内径为125mm，外径为133mm，长度为1480～3855mm，密度为8.0g/cm3。

该不锈钢圆筒衬管为SUS316不锈钢，其外表面光滑、无凸起物。

该不锈钢圆筒衬管具有外螺纹。

该圆筒旋转银靶还包括两个卡箍，该两个卡箍分别设于该圆筒不锈钢衬管的两端。

该圆筒旋转银靶的总长度为1480mm～3855mm。

一种圆筒旋转银靶的制备方法，其包括以下步骤：设计浇注模具；将浇注模具均匀加热到300℃～500℃，并通入氮气或氩气作为保护气体；将熔化的含银材料浇注到该浇注模具中，其中浇注时该熔化的含银材料的温度高于其熔点温度100℃或以上；冷却该模具，取出圆筒含银靶材；及将该圆筒含银靶材与圆筒不锈钢衬管进行装配，其中该圆筒含银靶材的内径与该圆筒不锈钢衬管外径之间采用过盈配合组装。

上述圆筒旋转银靶在溅射过程中，圆筒形旋转银靶可绕溅射阴极的中心轴线匀速转动(转速可调)，靶面均匀穿过等离子体区域，整个靶面完全被等离子刻蚀，靶材利用率可在80%以上。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的圆筒旋转银靶的前视示意图。

图2是图1所示的圆筒旋转银靶的侧视示意图。

图3是图2所示的圆筒旋转银靶沿III-III线剖开的示意图。

图4是图1所示的圆筒旋转银靶的单节圆筒含银靶材的前视示意图。

图5是图4所示的单节圆筒含银靶材的侧视示意图。

图6是图1所示的圆筒旋转银靶的圆筒不锈钢衬管的前视示意图。

图7是图6所示的圆筒不锈钢衬管的侧视示意图。

图8是图7所示的圆筒不锈钢衬管的沿VIII-VIII线剖开的示意图。

图9是图6所示的圆筒不锈钢衬管的A处的放大示意图。

图10是图8所示的圆筒不锈钢衬管的B处的放大示意图。

图11是本实用新型实施例二的圆筒旋转银靶的剖面示意图。

图12是图11所示的圆筒旋转银靶的侧视示意图。

具体实施方式

下面将结合附图及实施例对本实用新型的圆筒旋转银靶及其制备方法作进一步的详细说明。

请参见图1至图3，本实用新型实施例一的圆筒旋转银靶100包括圆筒不锈钢衬管12及圆筒含银靶材14，该圆筒含银靶材14的内径与该圆筒不锈钢衬管12外径之间采用过盈配合组装。其中，该圆筒旋转银靶100的总长度可为1480mm～3855mm。

具体在本实施例中，该圆筒含银靶材14的外表面均匀光滑，内壁面均匀光滑，其可为纯银靶材或银合金靶材，其中银合金中银的含量占总重量的比重可为90%～100%。

请同时参见图4与图5，圆筒含银靶材14可由多节组成，每节长度d可为200mm～300mm，内径R₁可为132.5mm；其中一节与另外一节的连接部142的外径R₂可为152～160mm；并且其中一节与另外一节间距可小于或等于0.5mm。