[实用新型]一种超精密气体静压回转工作台

权利要求书

1.一种超精密气体静压回转工作台，其特征在于：包括径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副、轴向下气体静压轴承副、静压轴承座、转台基座、力矩电机定子、力矩电机转子、电机芯轴和圆光栅角位移传感器，转台基座上设有螺钉孔，径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副和轴向下气体静压轴承副固定连接为一体，径向气体静压轴承副、静压轴承座和转台基座连接成一体，轴向上气体静压轴承副和轴向下气体静压轴承副设置在静压轴承座内，力矩电机定子固定在转台基座上，力矩电机转子安装在电机芯轴上，电机芯轴固定在静压轴承副上，圆光栅角位移传感器安装在转台基座的台阶端面上。

2.根据权利要求1所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：所述的径向气体静压轴承副包括径向轴承芯轴和径向支承轴承套，径向轴承芯轴和电机芯轴上设有等直径定位安装孔，径向支承轴承套胶粘在静压轴承座的内表面；所述的径向支承轴承套为多孔质石墨材料，其安装面设有气槽。

3.根据权利要求2所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：所述的轴向上气体静压轴承副包括工作台面和轴向上支承环，工作台面和电机芯轴上设有等直径定位安装孔，工作台面上设置螺钉孔和阶梯状内孔，轴向上支承环胶粘在静压轴承座的上环槽面；所述的轴向上支承环为多孔质石墨材料，其安装面设有气槽；所述的工作台面上设置12个螺钉孔和阶梯状内孔。

4.根据权利要求1所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：所述的轴向下气体静压轴承副包括轴向下支承环和轴承静压盘，电机芯轴固定连接在轴承静压盘下端面，轴承静压盘和电机芯轴上设有等直径定位安装孔，轴向下支承环胶粘在静压轴承座的下环槽面；所述的轴向下支承环为多孔质石墨材料，其安装面设有气槽。

5.根据权利要求4所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：所述的径向气体静压轴承副和轴向上气体静压轴承副、轴向下气体静压轴承副之间具有5-8μm的间隙。

6.根据权利要求4所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：还包括电机转子安装板，所述力矩电机转子间隙配合安装到电机芯轴上，其下端面固定连接在电机转子安装板上，电机转子安装板连接在电机芯轴的阶梯端面上。

7.根据权利要求1所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：还包括圆光栅读数头支架、支架安装板、台面盖板和密封环，所述台面盖板固定在径向气体静压轴承副上，所述密封环紧固安装在径向气体静压轴承副上；所述的圆光栅角位移传感器包括圆光栅读数头和圆光栅尺，所述圆光栅读数头连接在圆光栅读数头支架上，所述圆光栅读数头支架固定在支架安装板上，所述支架安装板安装在转台基座的台阶端面，所述圆光栅尺安装在电机芯轴底端面，所述圆光栅尺上设置倾斜安装面，所述圆光栅尺通过倾斜安装面与圆光栅尺安装座侧面定位安装，所述圆光栅尺安装座与电机芯轴设有等直径安装基准孔，所述的圆光栅读数头支架呈“L”形结构，两侧面分别设有长形螺钉安装孔。

8.根据权利要求7所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：所述的圆光栅角位移传感器包括圆光栅读数头和圆光栅尺，圆光栅读数头安装在转台基座的台阶端面，圆光栅尺安装在电机芯轴底端面，圆光栅尺上设置倾斜安装面，圆光栅尺通过倾斜安装面与圆光栅尺安装座侧面定位安装，圆光栅尺安装座与电机芯轴设有等直径安装基准孔。

9.根据权利要求1所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：所述的转台基座上设置8个螺钉孔；所述的径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副和轴向下气体静压轴承副上均设有进气通道和泄气通道，进气通道由1个进气口和5个气道组成，径向气体静压轴承副中的径向轴承芯轴两端面设有泄气槽。

10.根据权利要求1所述的超精密气体静压回转工作台，其特征在于：所述的转台基座的底端面安装有防护底板。