[实用新型]背照式图像传感器有效

专利信息
申请号: 201320429340.7 申请日: 2013-07-15
公开(公告)号: CN203456461U 公开(公告)日: 2014-02-26
发明(设计)人: 赵立新 申请(专利权)人: 格科微电子(上海)有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;王刚
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 背照式 图像传感器
【权利要求书】:

1.一种背照式图像传感器,包括: 

硅片层,其包括用于感光产生电信号的光电二极管,所述硅片层具有正表面和背表面; 

后端层,其设置于所述硅片层的正表面,所述后端层包括晶体管栅极、栅氧化层、导线层和介电层; 

入光层,其包括微透镜层和滤光膜层,所述入光层设置于所述硅片层背表面; 

其特征在于,所述后端层还包括: 

吸光层,其设置于所述后端层预设位置,所述吸光层用于吸收从硅片层透射过来的光线。 

2.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于:所述吸光层设置于所述后端层的介电层内部的预设区域内。 

3.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于:所述吸光层设置于所述硅片层正表面与所述介电层之间预设区域内。 

4.根据权利要求1所述的背照式图像传感器,其特征在于:所述吸光层与所述介电层为同一结构层,即所述介电层采用吸光材料构成。 

5.根据权利要求1-4任一项所述的背照式图像传感器,其特征在于:所述吸光层设置于所述光电二极管所处位置的硅片层正表面下方,所述吸光层横截面的面积不小于所述光电二极管横截面的面积。 

6.根据权利要求4所述的背照式图像传感器,其特征在于:所述吸光材料是对所述传感器的探测波段光吸收率为50%-100%的材料。 

7.根据权利要求4所述的背照式图像传感器,其特征在于:所述吸光材料为碳或者三氧化铬。 

8.根据权利要求7所述的背照式图像传感器,其特征在于:所述吸光材料为石墨。 

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