[实用新型]一种5N高纯二氧化碳中气体的分析装置有效
| 申请号： | 201320436017.2 | 申请日： | 2013-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN203422358U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 刘炜炜;张扬 | 申请（专利权）人： | 上海浦江特种气体有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 200072 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 二氧化碳 气体 分析 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，它包括定体积量管、混合填充柱和热导检测器，载气钢瓶与所述定体积量管的输入端连接，所述定体积量管的输出端依次连接混合填充柱和热导检测器，所述定体积量管上设置有样品气进出口，所述混合填充柱中设置有用于吸附高纯二氧化碳气体的吸附填充物。
2.如权利要求1所述的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，所述载气钢瓶通过一载气纯化器与所述定体积量管的输入端相连接。
3.如权利要求1所述的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，在所述载气钢瓶的输出端设置有压力调节器。
4.如权利要求1所述的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，在所述定体积量管的输入端连接有稳流调节阀。
5.如权利要求1所述的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，所述热导检测器还连接有一流量计。
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