[实用新型]一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气体的分析装置，特别涉及一种在大量二氧化碳中分析微量一氧化碳和甲烷的分析装置。

背景技术

在现有技术中，二氧化碳由于其性质稳定，作为清洗剂大量应用于半导体行业，随着需求的增加，越来越多的企业单位都在进行液体二氧化碳生产工艺的改进和二氧化碳纯化技术的研发，逐步进入高纯度二氧化碳的生产和检测领域，这就要求我们在生产高纯二氧化碳能力的同时，具备简单、快速和有效高纯度二氧化碳的分析检测装置。

大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷通常采用带切割流程的DID气相色谱仪检测，该仪器价格昂贵，一台仪器目前价格在30-40万，这对中小型企业负担较重，所以普及程度较低，并且仪器气路复杂，维护成本高，同时对操作人员的技术要求也较高。

因此，特别需要一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置，以解决上述现有存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置，针对现有技术的不足，在没有切割流程的条件下，完成大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析测定，大大降低了成本，且简化了操作。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，它包括一氢气管路、一氩气管路、一空气管路、一具有定量管的六通阀、一混合型填充色谱柱和一氢火焰离子化检测器；所述氢气管路的输出端和所述氩气管路的输出端与所述具有定量管的六通阀相连接，所述具有定量管的六通阀依次与所述混合型填充色谱柱和氢火焰离子化检测器相连接，所述空气管路的输出端与所述氢火焰离子化检测器相连接，所述混合型填充色谱柱中设置有用于吸附二氧化碳的吸附填充物。

在本实用新型的一个实施例中，所述氢气管路包括一氢气钢瓶和一氢气表，所述氢气钢瓶通过氢气表与所述具有定量管的六通阀相连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述氩气管路包括一氩气钢瓶和一氩气表，所述氩气钢瓶通过氩气表与所述具有定量管的六通阀相连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述空气管路包括一空气钢瓶和一氧气表，所述空气钢瓶通过氧气表与所述氢火焰离子化检测器相连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述混合型填充色谱柱和氢火焰离子化检测器之间设置有一甲烷化转化器。

在本实用新型的一个实施例中，所述空气管路中设置有一干燥净化管。

在本实用新型的一个实施例中，所述氢气管路、氩气管路和空气管路中均设置有稳压阀和流量计。

本实用新型的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，与现有技术相比，在没有切割流程的条件下，通过混合型填充色谱柱中的吸附填充物将进入的大量二氧化碳吸收，消除了大量二氧化碳主峰信号对微量一氧化碳和甲烷的影响，有效防止大量二氧化碳进入造成熄火不能分析检测的问题，完成大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析测定，大大降低了成本，且简化了操作，实现本实用新型的目的。

本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。

附图说明

图1为本实用新型的大量二氧化碳中微量气体的分析装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

实施例

如图1所示，本实用新型的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，它包括一氢气管路100、一氩气管路200、一空气管路300、一具有定量管的六通阀400、一混合型填充色谱柱500和一氢火焰离子化检测器600；所述氢气管路100的输出端和所述氩气管路200的输出端与所述具有定量管的六通阀400相连接，所述具有定量管的六通阀400依次与所述混合型填充色谱柱500和氢火焰离子化检测器600相连接，所述空气管路300的输出端与所述氢火焰离子化检测器600相连接，所述混合型填充色谱柱500中设置有用于吸附二氧化碳的吸附填充物。

在本实施例中，所述氢气管路100包括一氢气钢瓶110和一氢气表120，所述氢气钢瓶110通过氢气表120与所述具有定量管的六通阀400相连接。

在本实施例中，所述氩气管路200包括一氩气钢瓶210和一氩气表220，所述氩气钢瓶210通过氩气表220与所述具有定量管的六通阀400相连接。