[实用新型]太阳能电池湿法氧化设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种氧化设备，尤其涉及一种太阳能电池湿法氧化设备。

背景技术

目前光伏行业扩散源主要以三氯氧磷（POCL3）为主，通入方式主要有气体携带源扩散和喷淋扩散源两种。对于喷涂扩散方式从2009年末开始才始得到量产应用，发展缓慢的原因主要是因为磷酸(H3PO4)+DI水在Silicon Wafer表面分布不均匀，导致扩散方块电阻不均匀，一定程度上影响了其表面浓度与结深的分布，原因主要还是表面张力不够，对此问题通过大量实验进行了验证，通过增加氧化层来增加表面张力，进而获得了技术上的突破。

起初试用干氧化形成(SIO2)的方式进行实验，产生问题如下：一、喷涂效果改善一般，但热氧化使有害的杂质扩进电池体内，影响了其电性能；二、另外也需要增加热氧化机台，对于设备成本有很大增加；三、对于氧化时间相对过长，严重影响产能的输出。

为了解决上述问题，现采用HNO3进行化学氧化处理，采用槽体生产模式，类似于单晶制绒机设备，但是自动化程度低，与现有的多晶制绒设备衔接不上，大大影响了产能；同时，槽式设备不能保证药液挥发，使得进入扩散后的片子氧化效果不能得到保证，出现问题后只有重新换液，造成一定程度的浪费。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种喷涂效果好的太阳能电池湿法氧化设备。

为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种太阳能电池湿法氧化设备，具有二号槽体和八号槽体，所述二号槽体上并列设置有与其内腔相通的HF配槽盒、HN03配槽盒和HN03添加盒，所述二号槽体和八号槽体之间设置有HNO3回收利用槽，该回收利用槽连通二号槽体和八号槽体，所述八号槽体上还设置有与其内腔相通的HN03湿氧化专用槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益之处是：这种太阳能电池湿法氧化设备完全实现多晶制绒机生产模式，使化学品用量降低，降低改造和生产成本，同时便于量产，提高产量。

附图说明：

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

图1是本太阳能电池湿法氧化设备结构示意图。

图中：1、二号槽体；11、HF配槽盒；12、HNO3配槽盒；13、HN03添加盒；14、HN03回收利用槽；2、八号槽体；21、HN03湿氧化专用槽。

具体实施方式：

下面结合附图及具体实施方式对本实用新型进行详细描述：

图1所示一种太阳能电池湿法氧化设备，具有二号槽体1和八号槽体2，所述二号槽体1上并列设置有与其内腔相通的HF配槽盒11、HN03配槽盒12和HN03添加盒13，所述二号槽体1和八号槽体2之间设置有HNO3回收利用槽14，该回收利用槽14连通二号槽体1和八号槽体2，所述八号槽体2上还设置有与其内腔相通的HN03湿氧化专用槽21。

使用时，通过HF配槽盒11、HN03配槽盒12和HN03添加盒13对二号槽体1进行配液，HNO3湿氧化专用槽21内的化学液体被使用之后输入八号槽体2内，八号槽体2对使用过的化学液体过滤，再输入HNO3回收利用槽14内，通过HNO3回收利用槽14再对二号槽体1配液，循环使用。

这种太阳能电池湿法氧化设备完全实现多晶制绒机生产模式，使化学品用量降低，降低改造和生产成本，同时便于量产，提高产。

需要强调的是：以上仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。