[实用新型]基片架回转装置

权利要求书

1.基片架回转装置，包括支架上设置有竖直放置的滑槽通道，滑槽通道由上轨道和下轨道构成，其特征在于：支架前、后两个端面上分别设置有滑槽通道，支架下端面的中心竖直方向固定连接有转动轴，转动轴套接在底座内并与底座转动配合。

2.根据权利要求1所述的基片架回转装置，其特征是：所述的上轨道包括导杆，导杆的下端面开有上滑槽，上滑槽两侧安装有磁导向装置。

3.根据权利要求1所述的基片架回转装置，其特征是：所述的下轨道由竖直安装在支架外侧的若干个导轮构成，所有导轮的旋转轴线在同一水平面上，每个导轮表面有周向延伸的导轮凹槽。

4.根据权利要求3所述的基片架回转装置，其特征是：所述的底座上固定有第一驱动电机，转动轴与第一驱动电机通过第一传动机构配合；所述的支架固定有两个第二驱动电机，每个第二驱动电机与对应支架一侧的所有导轮通过第二传动机构配合。

5.根据权利要求4所述的基片架回转装置，其特征是：所述的第一传动机构为皮带传动机构；第二传动机构配合为皮带传动机构。