[实用新型]一种新型透明导电膜玻璃减薄承载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，尤其涉及一种新型透明导电膜玻璃减薄承载装置。 

背景技术

透明导电膜玻璃是制造平板显示器(FPD)的主要材料，广泛应用于液晶显示器(LCD)、等离子显示屏(PDP)、触摸屏(TP)、有机发光显示器(OLED)等领域。随着当今世界高新技术产品飞速发展，对FPD面板的轻薄化要求越来越高，因而透明导电膜玻璃的减薄工艺成为了终端显示产品能否实现薄型化的核心问题之一。 

所谓减薄就是用化学药液将透明导电膜玻璃基板均匀蚀刻到目标厚度，从减薄方式来讲分单面减薄和双面减薄两种。单面减薄即对玻璃基板的其中一面采取保护措施，对另一面进行减薄；双面减薄即对玻璃基板的两面同时进行减薄。从减薄工艺来讲，目前流行的减薄工艺有浸泡减薄工艺和喷淋减薄工艺，浸泡减薄工艺是把玻璃基板浸泡在化学药液中，然后辅助以鼓泡或抛动等机械手段，其玻璃夹具通常是带有卡槽的蚀刻篮，通过将玻璃基板两端卡在相邻的卡条间实现夹持固定(如专利CN101234853A描述)；喷淋减薄工艺是用水平传输辊作为支撑部件，通过从玻璃输送方向的左右支撑玻璃板两端来实现夹持固定，然后向其表面均匀喷射化学药液，(如专利CN1669967A描述)。浸泡减薄工艺和喷淋减薄工艺相比，后者蚀刻速率快，药液利用率高，得到的玻璃基板厚度均匀，表观缺陷少，因而代表了减薄工 艺的主流方向。 

采用上述喷淋蚀刻工艺进行透明导电膜玻璃单面减薄时，其夹持治具是该方法实施的关键。一方面要保护镀导电膜面使其免受化学药液侵蚀；另一方面要实现另一面没有任何遮挡物体的夹持状态以保证减薄的均匀性。 

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型旨在提供一种新型透明导电膜玻璃减薄承载装置。 

一种新型透明导电膜玻璃减薄承载装置包括夹持平板玻璃的真空吸盘，该真空吸盘包括刚性平板、设置在刚性平板上的阀门以及密闭围墙，刚性平板比平板玻璃尺寸至少大20毫米，以作为该真空吸盘的支撑骨架，刚性平板的材料可以是PVC、有机玻璃等材料，刚性平板表面距离边缘至少5毫米的区域内设置有环形开口沟槽，其深度优选为0.4毫米至0.9毫米，宽度优选为3毫米至7毫米，其轮廓尺寸优选比待夹持平板玻璃大2毫米至5毫米。 

在开口沟槽上紧密地贴附有弹性变形材料(如橡胶、柔性塑料等)制成的密闭围墙，该弹性变形材料厚度优选比开口沟槽的深度大0.2毫米至0.6毫米，其轮廓形状与平板玻璃平面轮廓形状相适，所述弹性变形材料密闭地贴附在开口沟槽上，刚性平板内部设置密闭抽气孔道，并延伸到真空吸盘边缘之外同侧出口至少5毫米处的的阀门，此外，抽气孔道一端与真空缓冲腔体件目通，另一端则与密闭围墙所围空间的内部相通，阀门是垂直于刚性平板的开孔，通过此阀门的开关 来控制抽气和/或进气从而实现装卸平板玻璃片。当平板玻璃镀有透明导电膜的一面与密闭围墙轮廓对应贴附、密闭空腔抽成真空时玻璃基板牢固地夹持在真空吸盘上。在具体制作中，刚性平板由两块同质平板贴合而成，其中一块平板的一面钻有充当抽气孔道的通孔，另一面铣有充当真空缓冲腔体的多个沟槽，该通孔与沟槽相通。 

本实用新型中的真空吸盘呈竖立状态，其底部固定有传输辊，传输辊前后端部优选为锥形并且其轴线与真空吸盘上的刚性平板底部边缘平行且在同一平面；真空吸盘顶部位置固定有多组导向滑轮，导向滑轮的转动平面为水平面并且其轴线与真空吸盘上的刚性平板底部边缘垂直于且在同一平面。在传送过程中，传输辊落在外围设备的凹型滚轮上，导向滑轮进入相应设备的导向槽内，通过凹槽滚轮的旋转带动装置进行移动，导向滑轮可保证承载装置在垂直状态下移动并减小阻力。 

所示平板玻璃位于真空吸盘上接受喷淋设备对其进行的喷淋减薄操作。本实用新型的承载装置，在实现透明导电膜玻璃镀膜面密闭固定的同时，可借助承载装置底部的传输辊和顶部的导向滑轮在特定减薄设备传输轨道内稳定传输，此方法使得透明导电膜玻璃的减薄面在运动过程中与减薄设备喷射出的化学药液均匀接触，通过药液的冲刷作用及时清除掉玻璃表面化学反应产生的反应产物，避免产物的附着和堆积，从而提高了透明导电膜玻璃减薄面的表观质量和厚度均匀性。 

所示本实用新型中，还可以在刚性平板的两侧独立地设置密闭围 墙和阀门，用于同时装载两片相对的透明导电膜玻璃，真空缓冲腔体浓两片玻璃之间的刚性平板中，真空缓冲腔体过抽气孔道与密闭围墙内的区域相同，刚性平板的真空吸盘的顶部有导向滑轮，底部有传输辊，从而实现一个承载装置承载两块透明导电玻璃，同时进行单面减薄。