[实用新型]一种取片机械手

权利要求书

1.一种取片机械手，包括电控装置和机械手，其特征在于：所述机械手主要由支架、电动执行器、抓手梁、上下气缸、手指气缸和抓手组成，所述电动执行器设置在所述支架上，所述抓手梁滑动安装在电动执行器的工作面上并伸出由电动执行器驱动抓手梁前后移动，所述上下气缸固定在所述抓手梁的伸出端，所述手指气缸安装在所述上下气缸上由上下气缸驱动手指气缸上下移动，而所述抓手固定在手指气缸的动力输出端上由手指气缸驱动抓手聚拢或张开；所述电控装置控制电动执行器、上下气缸分别驱动抓手梁、手指气缸实现抓手前后移动和上下移动，并判断到达指定位置后，控制手指气缸驱动抓手聚拢拾取硅片上升，平移至指定位置后，并判断抓手下方没有硅片时，控制抓手张开释放硅片。

2.根据权利要求1所述的取片机械手，其特征在于：所述的支架由竖向板体、横向板体和用于安装在机架上的固定座组成，所述固定座设置在竖向板体的上端，所述竖向板体的下端设置在横向板体的上板面上，所述电动执行器通过电动执行器固定板安装在横向板体的下板面上。

3.根据权利要求2所述的取片机械手，其特征在于：所述抓手由抓手滑轨、抓手架和抓勾组成，所述抓手滑轨至少为一对，每个抓手滑轨是“П”形的块状体且呈水平放置，抓手滑轨包括连接部和位于该连接部两端平行的滑动臂，所述连接部固定在手指气缸的动力输出端上且该两个抓手滑轨对称设置，所述滑动臂的上表面具有沿其长度方向贯通的滑槽，所述抓手架是条形块体，所述抓手架滑动安装在滑槽中，所述抓勾竖向固定在抓手架的外端形成夹持硅片的夹口。

4.根据权利要求3所述的取片机械手，其特征在于：所述电动执行器固定板的两侧面开有缺口，所述电动执行器固定板与横向板体之间设有挂片，所述挂片的下部适配固定于缺口中，而其上部则固定在横向板体的侧面上实现电动执行器固定板与横向板体的连接。

5.根据权利要求4所述的取片机械手，其特征在于：所述上下气缸位于所述手指气缸的顶面上，二者之间设有手指气缸固定板，所述手指气缸固定板是中部平面向上凸起的片状体，所述上下气缸的动力输出轴固定在手指气缸固定板的中部平面上，且该动力输出轴的端部与手指气缸的顶面之间存在间隙。

6.根据权利要求5所述的取片机械手，其特征在于：在所述手指气缸固定板的中部平面上设有水平的片状防转夹板，所述防转夹板呈“H”形，构成两个夹口，所述上下气缸的动力输出轴是两相对侧面为平面的柱形体，所述上下气缸的动力输出轴卡于防转夹板的其中一个夹口中。

7.根据权利要求6所述的取片机械手，其特征在于：所述电控装置包括传感器、控制器和用于提供电力的控制电路，所述传感器监测抓手动作的位置和硅片的位置状态并将这些信息反馈给控制器，由控制器发送指令以控制抓手动作。

8.根据权利要求7所述的取片机械手，其特征在于：所述传感器采用两对，其中一对传感器用于监测抓手升降位置，该对传感器通过传感器固定板安装在所述抓手梁的伸出端上且靠近上下气缸，传感器固定板与抓手梁的侧面呈垂直，在手指气缸固定板上设有传感器触发板用来触发该对传感器；另一对传感器用于监测抓手开合状态，该对传感器设置在手指气缸的侧面上，且位于上下气缸的下方。

9.根据权利要求8所述的取片机械手，其特征在于：所述电控装置还包括人机交换界面，所述人机交换界面由人工输入抓手动作的延时参数和启动/停止指令。

10.根据权利要求9所述的取片机械手，其特征在于：所述竖向板体和横向板体均采用铝型材制成。