[实用新型]多晶硅还原炉电极陶瓷绝缘组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产工艺设备中的电极绝缘构件，具体涉及一种多晶硅还原炉电极陶瓷绝缘组件。

背景技术

多晶硅还原炉对电极的绝缘保护要求高，目前国内主要采用整体式结构的聚四氟乙烯套对电极进行绝缘保护。整体式结构的聚四氟乙烯套其优点是结构简单、绝缘性能好，但是，由于四氟材料耐高温性能较差，最高只能耐250℃，而炉内最高温度能达到1100℃，聚四氟乙烯套的上端靠近底盘部分因受热容易烧焦、变形，导致绝缘性能下降、电极拉弧等现象发生，需要经常更换，更换聚四氟乙烯套的操作比较复杂、费时，需要将整个电极拆掉，造成使用成本增高。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种耐高温性能好且更换简便的多晶硅还原炉电极陶瓷绝缘组件。

本实用新型的目的采用如下技术方案来实现：一种多晶硅还原炉电极陶瓷绝缘组件，包括套装在电极上的阶梯状绝缘保护套，其特征是：保护套为分体式结构，由高铝瓷制成的陶瓷绝缘套套装在电极的上部，聚四氟乙烯套套装在电极下部，陶瓷绝缘套下部紧密配合套接在聚四氟乙烯套内。

所述的高铝瓷优选95%或99%氧化铝陶瓷，所述陶瓷绝缘套的上沿还可以设有一个台阶，方便取放。

由于本实用新型采用分体式结构，因为电极下部温度低，聚四氟乙烯套基本上不会损坏，而上部采用耐高温和绝缘性能好的95%或99%氧化铝陶瓷，不易烧坏和变形。因此本实用新型的优点是缘性能好、耐高温性能优良、使用寿命大大延长，即使陶瓷绝缘套损坏，更换也非常方便。

附图说明

图1为现有技术中的电极与绝缘保护套的装配结构图。

图2为本实用新型和电极的装配结构图。

图3为本实用新型中陶瓷绝缘套的一种具体结构图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1和图2所示。图1中，对电极1起绝缘保护作用的是套装在电极上的阶梯状绝缘保护套6，由聚四氟乙烯材料制成，为一体式结构。图2中，绝缘保护套为分体式结构。由95%或99%氧化铝陶瓷制成的陶瓷绝缘套2套装在电极1的上部，陶瓷绝缘套2的上端靠近底盘5，聚四氟乙烯套3套装在电极1的下部，陶瓷绝缘套2的下部紧密配合套接在聚四氟乙烯套3内。图3中，陶瓷绝缘套2的上沿设有一个台阶4。