[实用新型]多线切割机主辊

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏产业中半导体材料的切片生产领域，特别是涉及用于大尺寸硅晶棒和其他硬脆材料半导体晶锭切割的多线切割机主辊。

背景技术

在制造各种半导体光伏器件时，通过切片加工将包含硅、蓝宝石、陶瓷等硬脆材料的原料晶锭切割加工为所要求的厚度的晶片。由于晶锭切割是制约后续成品的重要工序，因而对其加工要求也越来越高。目前，多线切割技术由于具有生产效率高、加工成本低、加工精度高等特点，被广泛应用于光伏产业的晶锭切片生产中。

传统技术的多线切割机上设置有一对相互平行的主辊。主辊外层一般为聚氨酯涂覆层，在涂覆层上开设有数千条相互平行的用于固定切割钢丝的闭合线槽。在相邻主辊上的各条闭合线槽内部均绷紧有能够随着主辊高速运动的切割钢丝线。

在实际加工过程中，将半导体晶锭（如硅晶棒）压向数千条切割钢丝线所构成的线网上，高速运动的线网带动切割韧料不断磨削晶锭，从而实现晶片的切割。

请参图2为传统技术中在主辊上开设的闭合线槽为V形线槽110’，该线槽110’具有靠近主辊外径的槽顶111’以及与槽顶111’相对的槽底112’。该线槽槽型具有加工成本低、开槽精度高、易于布线等优点。但使用V形线槽的主辊对切割钢丝线的固定仅靠切割钢丝线的张紧力以及V形线槽的两边向内部延伸的侧壁面固定，从主辊的轴截面上可以看出，V形线槽与切割钢丝线之间仅为点接触。因此，在切割钢丝线与V形线槽磨合期的高速运转过程中，切割钢丝线很容易在V形线槽的两边产生跳动，从而导致晶锭在切片过程中良率较低，频繁发生线痕、厚废、整体厚度偏差（TTV）大等不良问题。若切割钢丝线在V形线槽的两边跳动剧烈，还会出现整条切割钢丝线从线槽中脱离的跳线事故，从而导致生产停线检修。此外，使用V形线槽的主辊在不断的磨损过程中很容易产生线槽槽型偏移，从而导致其使用寿命有限，使用成本较高。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种能够提高半导体晶锭（如硅晶棒）的切片良率且能够提高主辊使用寿命的多线切割机主辊。

一种多线切割机主辊，所述主辊上设置有若干用于固定切割钢丝线的闭合环形线槽，所述线槽之间相互平行，所述线槽具有靠近所述主辊外径的槽顶以及与所述槽顶相对的槽底，所述线槽在所述主辊的轴截面上具有槽底小槽顶大的倒葫芦形状的槽型。

在其中一个实施例中，在所述主辊的轴截面上，所述线槽从所述槽顶至所述槽底依次设置有一对直线部、与各个所述直线部光滑过度的第一弧形部以及与所述第一弧形部光滑过度的第二弧形部；一对所述直线部、一对所述第一弧形部、一对所述第二弧形部以所述线槽的中心线为轴对称；所述第一弧形部的弧心与所述第二弧形部的弧心分居所述葫芦形状的槽型的两边，且一对所述第一弧形部的之间的距离始终大于一对所述第二弧形部之间的距离。

在其中一个实施例中，在所述主辊的轴截面上，所述线槽从所述槽顶至所述槽底依次设置有一对第一弧形部、与所述第一弧形部光滑过度的第二弧形部；一对所述第一弧形部、一对所述第二弧形部以所述线槽的中心线为轴对称；所述第一弧形部的弧心与所述第二弧形部的弧心分居所述葫芦形状的槽型的两边，且一对所述第一弧形部的之间的距离始终大于一对所述第二弧形部之间的距离。

在其中一个实施例中，在所述主辊的轴截面上，所述槽底为弧形、V字型或直线。

在其中一个实施例中，所述线槽的槽深为所述切割钢丝线直径的1.3-4.0倍。

在其中一个实施例中，所述线槽的槽顶还开设有向内光滑收缩的卡口部，所述卡口部的宽度与所述切割钢丝线的直径相同。

在其中一个实施例中，一对所述第一弧形部之间的最大距离为所述切割钢丝线直径的1.2-1.4倍。

在其中一个实施例中，所述线槽之间等间距排列。

在其中一个实施例中，相邻所述线槽之间的间距为0.25mm-1.00mm。