[实用新型]等离子体气相沉积用射频电源

权利要求书

1.一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，包括：

一变压器，用于将一交流源电压变换成一交流输入电压；

一激发单元，用于利用所述交流输入电压产生一正弦波电压；

一放大单元，用于放大所述正弦波电压；

一自动匹配单元，用于对所述正弦波电压进行负载阻抗匹配，包括：一匹配电容；及一匹配电容传动部件，其中，所述匹配电容传动部件采用齿轮比为(1.5~2.5)：15的齿轮传动部件；及

一输出单元，用于将所述正弦波电压输出至一气相沉积设备并产生辉光放电现象。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，所述齿轮传动部件的所述齿轮比为2：15。

3.根据权利要求1所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，进一步包括一箱体，用于容纳所述变压器，所述整流器，所述激发单元，所述放大单元，所述自动匹配单元及所述输出单元。

4.根据权利要求1所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，进一步包括一保护单元，设置于所述箱体内，用于在过载，短路，漏电，过热和驻波产生时阻止所述等离子体气相沉积用射频电源继续工作。

5.根据权利要求1所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，进一步包括一控制面板，设置于所述箱体的一正面，用于调整一输出功率及手动进行所述负载阻抗匹配。

6.根据权利要求1所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，进一步包括一回馈单元，设置于所述箱体内，用于采集射频电源工作参数。

7.根据权利要求1所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，进一步包括一显示单元，设置于所述箱体的所述正面，用于显示所述射频电源工作参数。

8.根据权利要求7所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，所述显示单元进一步包括一整流器，用于从所述交流输入电压中转换出一直流电压；一LED显示屏，由所述直流电压供电，用于显示所述射频电源工作参数；及一背光光源，用于在黑暗环境下照亮所述LED显示屏。

9.根据权利要求1所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，进一步包括一冷却装置，设置于所述箱体内，用于对所述等离子体气相沉积用射频电源进行降温。

10.根据权利要求9所述的一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，所述冷却装置进一步包括一风扇及一散热片。