[实用新型]一种用于生产高效多晶硅铸锭的石英坩埚涂层有效
| 申请号： | 201320458277.X | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN203485502U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 黄新明;周绪成;尹长浩;钟根香;明亮;周海萍 | 申请（专利权）人： | 东海晶澳太阳能科技有限公司;南京工业大学 |
| 主分类号： | B32B3/24 | 分类号： | B32B3/24;B32B9/04;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 222300 江苏省连*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 高效 多晶 铸锭 石英 坩埚 涂层 | ||
1.一种用于生产高效多晶硅铸锭的石英坩埚涂层，其特征在于，由下层氮化硅涂层（1）、中间层形核功能层（2）和上层氮化硅涂层（3）组成，所述下层氮化硅涂层（1）设置在坩埚本体（4）的底部，所述中间层形核功能层（2）设置在下层氮化硅涂层（1）上，所述上层氮化硅涂层（3）设置在中间层形核功能层（2）上，所述中间层形核功能层（2）上分布有均匀或不均匀的孔洞或裂缝。
2．根据权利要求1所述的一种用于生产高效多晶硅铸锭的石英坩埚涂层，其特征在于，所述中间层形核功能层（2）由高纯氮化硅、高纯硅微粉或高纯塞隆粉材料制成。
3．根据权利要求2所述的一种用于生产高效多晶硅铸锭的石英坩埚涂层，其特征在于，所述中间层形核功能层（2）的厚度为1-5mm。
4．根据权利要求3所述的一种用于生产高效多晶硅铸锭的石英坩埚涂层，其特征在于，所述孔洞为圆形、椭圆形或正方形孔洞，孔洞直径为0.1mm-1mm，孔洞间距为0.5-20mm。
5．根据权利要求4所述的一种用于生产高效多晶硅铸锭的石英坩埚涂层，其特征在于，所述裂缝为连续或断续的直线或曲线式裂缝，裂缝宽度为0.1mm-1mm，裂缝间距为0.5-20mm。
6．根据权利要求4或5所述的一种用于生产高效多晶硅铸锭的石英坩埚涂层，其特征在于，所述下层氮化硅涂层（1）和上层氮化硅涂层（3）的厚度为100-200μm。
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