[实用新型]半导体制程夹具处理设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体制程夹具处理设备，特别是指一种可节省人力、提升效率、可完全自动化载料及卸料的半导体制程夹具处理设备。

背景技术

半导体制程夹具主要用来夹掣欲烘烤的半导体组件，在夹具的体积、重量、夹掣稳定度的改善下，如今半导体制程夹具的操作方式已逐渐简单、方便化。

然而，纵使半导体制程夹具的操作方式再简单、方便，仍需要人力拆卸半导体制程夹具，才得以放置欲烘烤的半导体组件于半导体制程夹具上，且在半导体组件放置后，仍需额外人力再装设半导体制程夹具，才得以使半导体制程夹具稳固夹掣半导体组件，不论在人力及效率上皆有改善的空间。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，利用移载滑台移载半导体制程夹具，使半导体制程夹具移载至载料单元及卸料单元，使得半导体制程夹具的拆装、载料及卸料作业完全自动化，形成一自动化循环装、卸除机构，不仅节省人力的消耗，也大幅提升作业效率。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种半导体制程夹具处理设备，半导体制程夹具包含有由上而下依序设置的上夹板、中夹板及下夹板，其中，上夹板两侧分别设置有贯穿上夹板的锥度孔，锥度孔内穿设有连接下夹板的螺杆，螺杆上则锁设可锁入锥度孔的锥度定位件，上夹板下方通过数个弹性组件连接中夹板，而下夹板的四个端部则分别设置有连接上夹板的挡止块，使挡止块与中夹板及下夹板之间可形成一置放物料的容置空间； 

    半导体制程夹具处理设备对半导体制程夹具进行载料及卸料作业，处理设备主要包含有：

    移载滑台，该移载滑台移载半导体制程夹具；

　载料单元，包含有电性连接的载料移载机具、载料物料存取区以及载料物料取放机具，通过移载滑台承载半导体制程夹具，并将半导体制程夹具移载定位后，载料移载机具拆卸半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板，而载料物料取放机具搬运存放于载料物料存取区的物料至半导体制程夹具上，在半导体制程夹具载满物料后再通过载料移载机具装载锥度定位件、上夹板及中夹板于半导体制程夹具上；

　卸料单元，连接移载滑台，卸料单元主要包含有电性连接的卸料移载机具、卸料物料存取区以及卸料物料取放机具，移载滑台将载满物料的半导体制程夹具移载定位后，通过卸料移载机具拆卸半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板，而卸料物料取放机具则搬运半导体制程夹具上的物料存放至卸料物料存取区，在半导体制程夹具卸除完物料后再通过卸料移载机具装载锥度定位件、上夹板及中夹板于半导体制程夹具上。

进一步地，移载滑台、载料单元及卸料单元之间形成半导体制程夹具的自动载料、卸料的循环机构。

进一步地，载料移载机具在装载上夹板及中夹板时，压合位于容置空间内的物料。

进一步地，载料单元通过载料滑轨连接载料物料总存取区。

进一步地，卸料单元通过由卸料滑轨连接卸料物料总存取区。

进一步地，物料为蓝钢片、玻璃或半导体组件。

进一步地，载料物料取放机具自动选择物料的种类并搬运至半导体制程夹具上。

进一步地，卸料物料取放机具将半导体制程夹具上的物料进行分类并放置于卸料物料存取区。

如上所述，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，通过载料单元上的载料移载机具及卸料单元上的卸料移载机具，使得半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板可完全自动化拆装，大幅节省人力的消耗；

2、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，通过载料单元上的载料物料取放机具及卸料单元上的卸料物料取放机具，使得半导体制程夹具的载料及卸料作业完全自动化，同样可大幅节省人力的消耗，同时提升作业效率；

3、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，载料单元上的载料物料取放机具可依控制而选择性的搬运物料至半导体制程夹具，提升载料作业的方便性；

4、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，卸料单元上的卸料物料取放机具可依控制而搬运并分类半导体制程夹具上的物料，使得烘烤后的物料得以直接自动归类，提升了物料储放的效率；

5、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，通过载料单元、移载滑台及卸料单元所形成的半导体制程夹具自动载料、卸料循环机构，使得整个载料、烘烤、卸料的作业不中断，有效地提高作业效率。

附图说明

图1为本实用新型的半导体制程夹具示意图；

图2为本实用新型的半导体制程夹具处理设备架构示意图。

图中，1.半导体制程夹具

10.上夹板