[实用新型]一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统

权利要求书

1.一种碎屑收集装置，其特征在于：包括位于碎屑传播路径上的金属液滴产生装置(10)，该金属液滴产生装置(10)用于产生一个金属液滴帘。

2.如权利要求1碎屑收集装置，其特征在于：所述的金属液滴产生装置(10)具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可以喷射出具有一定间隔的金属液滴组成的金属液滴串，从而，当所有喷射口都喷射出金属液滴串时，各金属液滴串共同构成一个金属液滴帘(12)。

3.如权利要求2所述的碎屑收集装置，其特征在于：还包括金属液滴收集装置(11)，其位于所述金属液滴产生装置(10)的正下方，并且具有一个正对所述金属液滴帘(12)的液滴入口，使得所述金属液滴帘(12)流入该液滴入口后被收集。

4.如权利要求2所述的碎屑收集装置，其特征在于：所述金属液滴产生装置(10)包括转轮(23)，当该转轮(23)高速转动且液体金属物料(25)流至转轮(23)的侧面时，该液体金属物料(25)能够被该转轮(23)加速并从转轮(23)的切向出射，形成具有空间阵列式分布的金属液滴阵列。

5.如权利要求4所述的碎屑收集装置，其特征在于：所述金属液滴产生装置(10)还包括用于存储液体金属物料(25)的储料箱，其底部与多个平行排列的进料管(22)连通，以使所存储的该液体金属物料(25)能通过所述多个平行排列的进料管(22)流至所述高速转轮(23)的侧面，所述进料管(22)的出液口位于所述转轮(23)的偏心位置。

6.如权利要求4所述的碎屑收集装置，其特征在于：所述转轮(23)由电机(24)带动。

7.一种EUV光源系统，其特征在于，包括权利要求1至6中任一项所述的碎屑收集装置。

8.如权利要求7所述的EUV光源系统，其特征在于：还包括EUV辐照源(3)和光学系统(5)，由该EUV辐照源(3)辐射出的EUV光由光学系统(5)会聚在位于光轴(8)上的中间焦点(9)，所述碎屑收集装置(4)位于所述EUV辐照源(3)和光学系统(5)之间。

9.如权利要求8所述的EUV光源系统，其特征在于：所述碎屑收集装置(4)到所述EUV辐照源(3)之间的距离d满足D＞2dtan(θ/2)，其中D为金属液滴帘(12)的宽度，θ为所述光学系统(5)的光束收集全角。

10.如权利要求8所述的EUV光源系统，其特征在于：所述金属液滴帘(12)的宽度大于所述EUV光入射到金属液滴帘(12)的区域(15)。