[实用新型]坩埚夹持装置和坩埚运输车

权利要求书

1.一种坩埚夹持装置，其特征在于，包括支撑部（10）和多个吸附部（20），所述支撑部（10）具有坩埚容纳区域，所述多个吸附部（20）位于所述坩埚容纳区域内、并且设置在所述支撑部（10）上。 

2.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置，其特征在于，所述支撑部（10）包括两根支撑臂（11）和两个所述吸附部（20），两个所述吸附部（20）分别设置在所述两根支撑臂（11）上，两个所述吸附部（20）相对地设置。 

3.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置，其特征在于，所述支撑部（10）包括沿坩埚的移动方向的纵向设置的主支架（12），两根所述支撑臂（11）相互沿坩埚的移动方向的横向可滑动地设置在所述主支架（12）上。 

4.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置，其特征在于，所述吸附部（20）是吸盘，所述坩埚夹持装置还包括气泵，所述气泵的吸气端与两个所述吸附部（20）连接。 

5.一种坩埚运输车，包括车体（30），其特征在于，所述坩埚运输车还包括权利要求1至4中任一项所述的坩埚夹持装置，所述坩埚夹持装置的支撑部（10）设置在所述车体（30）上。 

6.根据权利要求5所述的坩埚运输车，其特征在于，所述坩埚运输车还包括前轮（40）和后轮（50），所述前轮（40）设置在所述车体（30）的前端，所述支撑部（10）位于所述前轮（40）与所述后轮（50）之间，所述吸附部（20）朝向所述前轮（40）的方向伸出。 

7.根据权利要求5所述的坩埚运输车，其特征在于，所述车体（30）还包括竖直设置的导轨（31），所述支撑部（10）具有可滑动地设置在所述导轨（31）内的配合部。 

8.根据权利要求7所述的坩埚运输车，其特征在于，所述车体（30）包括纵向设置的导轨架（32），所述导轨架（32）上沿纵向开设有T型槽，所述支撑部（10）的端部形成T型的所述配合部，T型的所述配合部设置在所述T型槽内。 

9.根据权利要求5所述的坩埚运输车，其特征在于，所述坩埚运输车还包括升降装置（60），所述升降装置（60）的一端设置在所述车体（30）上，所述升降装置（60）的另一端与所述支撑部（10）连接。 

10.根据权利要求5所述的坩埚运输车，其特征在于，所述坩埚运输车还包括行走部，所述行走部驱动所述坩埚运输车移动。