[实用新型]一种玻璃基板真空传送系统

权利要求书

1. 一种玻璃基板真空传送系统，其特征在于，包括真空腔体（1）和位于真空腔体（1）内的滚道（6），装在真空腔体（1）内的用于装载玻璃基板的基板装载小车，驱动该基板装载小车在所述滚道（6）上移动且位于真空腔体（1）外侧的驱动装置；所述驱动装置的传动轴通过至少一个传力部件与所述基板装载小车相连，穿过真空腔体（1）的该传力部件与真空腔体（1）壁面之间设有密封部件。

2. 根据权利要求1所述的玻璃基板真空传送系统，其特征在于，所述基板装载小车包括装载框架（3），设置在装载框架（3）底部的底部滚轮（5），设置在装载框架（3）一个侧壁上的侧向滚轮（4），以及设置在装载框架（3）另一个侧壁上的摩擦条（7）；所述侧向滚轮（4）和底部滚轮（5）分别与呈L形的所述滚道（6）接触；所述驱动装置的传动轴通过同步带（9）驱动至少一个传力部件与所述基板装载小车的摩擦条（7）相连。

3. 根据权利要求1或2所述的玻璃基板真空传送系统，其特征在于，所述密封部件为装在真空腔体（1）外壁面上的密封罩（13）；所述传力部件包括通过轴承装在密封罩（13）上的主动磁套环（12），该主动磁套环（12）上装有同步带轮（10），所述主动磁套环（12）与一装在内传动轴（15）底端的随动磁套环（14）配合传动，所述内传动轴（15）通过安装座（16）装在真空腔体（1）的壁面上，所述内传动轴（15）顶端装有摩擦轮（17），该摩擦轮（17）与所述摩擦条（7）摩擦传动。

4. 根据权利要求3所述的玻璃基板真空传送系统，其特征在于，所述摩擦轮（17）为传动齿轮。

5. 根据权利要求3所述的玻璃基板真空传送系统，其特征在于，所述主动磁套环（12）与随动磁套环（14）上均装有永磁体（18）。

6. 根据权利要求3所述的玻璃基板真空传送系统，其特征在于，所述摩擦条（7）为胶条。