[实用新型]一种硅片再加工夹具

权利要求书

1.一种硅片再加工夹具，其特征在于所述夹具的主体结构为直角梯形的平面立体，其下底面（4）和倾斜的侧面（5）夹角为135度，夹具的上底面（6）与直角面处设有直角方形凹槽，凹槽的底面与下底面（4）平行，凹槽的两端设有挡板。

2.根据权利要求１所述的一种硅片再加工夹具，其特征在于所述凹槽的一端为固定挡板（1），另一端为活动挡板（2），所述固定挡板（1）与夹具的主体结构合为一体，并且其外表面与梯形结构的外表面重合，活动挡板（2）与固定挡板（1）平行，且活动挡板（2）两侧边与凹槽的底面接触，活动挡板（2）的表面设有控制活动挡板（2）沿凹槽内壁滑动的导向杆。

3.根据权利要求2所述的一种硅片再加工夹具，其特征在于所述导向杆为四个禁锢螺栓（3），所述禁锢螺栓（3）分布于活动挡板（2）的四个角，禁锢螺栓（3）穿过夹具的主体结构，禁锢螺栓（3）与下底面（4）平行，并且垂直于活动挡板（2）。

4.根据权利要求2或3所述的一种硅片再加工夹具，其特征在于所述活动挡板（2）的表面与固定挡板（1）的表面大小相同，边长在148～154mm之间。