[实用新型]四甲基氢氧化铵提浓装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种四甲基氢氧化铵提浓装置。

背景技术

电子级四甲基氢氧化铵（Tetramethyl Ammonium Hydroxide,TMAH）用于显示面板（FDP）和半导体芯片生产过程中的显影液，是用量最大的电子化学品之一。一般使用后的显影液废水中除了TMAH之外，还有光刻胶以及各种低浓度的金属离子杂质。由于TMAH是一种腐蚀性化学品，因此经过废水处理方能排放。目前显示面板和半导体芯片生产厂家一般采用中和，稀释以达到排放标准。如此废液处理成本高，另一方面TMAH是一类含氮物质，容易造成富营养化污染等环境负担，而且TMAH废液进行处理后排放无法实现循环利用，从而使制造者的制造成本无法降低。

台湾第98114596号专利提供了一种TMAH回收装置能够有效移除光刻胶，但无法除去其中的其他杂质；CN101993380中通过纳滤装置和树脂相结合进行TMAH回收，但该装置需要耐碱性的纳滤膜，而且需要更换频繁成本高。但是由于回收的TMAH浓度小于实际使用浓度，因此需要将TMAH进行浓缩。专利CN202983247采用蒸发的方式进行提浓，但需要消耗大量热能，而且TMAH在加热过程中会有部分分解。

发明内容

为了克服已有四甲基氢氧化铵提浓装置的能耗较大、无法回收再生水的不足,本实用新型提供了一种降低能耗、提浓同时回收再生水的四甲基氢氧化铵提浓装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种四甲基氢氧化铵提浓装置，包括废液槽、过滤装置和电渗析装置，所述废液槽包括吸附剂进口和废液进口，所述废液槽的出口通过连接管与所述过滤装置的进口连接，所述过滤装置的上部设有吸附剂出口，所述过滤装置的底部设有液体出口，所述电渗析装置包括外壳，所述外壳内配置成对的阴阳离子交换膜，所述成对的阴阳离子交换膜之间的腔室为浓缩腔体，所述浓缩腔体相邻的两侧均为进液腔体，所述液体出口与所述进液腔体连通，所述浓缩腔体与提浓液储槽连通。

进一步，将所述成对的阴阳离子交换膜有至少两对，至少两对阴阳离子交换膜并排布置。

更进一步，所述连接管上安装泵。

本实用新型的有益效果主要表现在：充分利用电渗析原理，保证了TMAH的提浓，而且结构简单，可连续生产，易于推广实用。

附图说明

图1是四甲基氢氧化铵提浓装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。

参照图1，一种四甲基氢氧化铵提浓装置，包括废液槽1、过滤装置3和电渗析装置4，所述废液槽1包括吸附剂进口和废液进口，所述废液槽1的出口通过连接管与所述过滤装置3的进口连接，所述过滤装置3的上部设有吸附剂出口，所述过滤装置3的底部设有液体出口，所述电渗析装置包括外壳，所述外壳内配置成对的阴阳离子交换膜5、6，所述成对的阴阳离子交换膜5、6之间的腔室为浓缩腔体8，所述浓缩腔体的相邻两侧均为进液腔体7，所述液体出口与所述进液腔体7连通，所述浓缩腔体8与提浓液储槽连通。

进一步，将所述成对的阴阳离子交换膜有至少两对，至少两对阴阳离子交换膜并排布置。所述连接管上安装泵2。

本实施例中，废液槽1，用于存储废液，同时用于添加吸附剂；

过滤装置3，用于过滤废液，在这过程中配置泵，用于吸滤；

所得溶液进入电渗析装置4，在电渗析装置中配有多对阴阳离子交换膜各层多个腔室，在电场作用下阴阳离子通过离子膜进入浓缩腔室。浓缩液进入提浓液储槽。

所述过滤装置3中，滤芯位于过滤装置的中部，过滤装置的上部出口为固体出口，过滤装置的下部出口为液体出口。

如图1所示，废液槽1接收存储TMAH废液，其中加入定量吸附剂如活性炭等，吸附完全后通过过滤装置3实现固液分离，所得溶液进入电渗析装置4，在电渗析装置中配有多对阴阳离子交换膜5，6（阴离子交换膜5、阳离子交换膜6）；隔成多个腔室：进液腔室7和浓缩腔室8。在电场作用下阴阳离子选择通过，在浓缩腔室内浓缩，提浓溶液进入储槽。