[实用新型]一种用于固定高斯计的治具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于固定高斯计的治具，属于磁控溅射技术领域。

背景技术

目前，随着磁控溅射技术的迅速发展，对磁控溅射镀膜机的保养和性能监测十分必要。用高斯计测量靶材表面的磁场，便于累积观察磁场有无变化，防止对生产造成影响；高斯计是根据霍尔效应原理进行磁场测量的，霍尔传感器作为磁感应元件做成探头，但是在测量时即使是同一点测量，由于人的因素往往会造成测量出现差错。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种测量精确，误差率低的用于固定高斯计的治具。

 为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于固定高斯计的治具，它包括探头元件放置块、支撑块、上半部分螺丝孔、探头元件放置孔和下半部分螺丝孔，支撑块位于探头元件放置块的下方，用于支撑探头元件放置块，上半部分螺丝孔与下半部分螺丝孔通过螺丝连接。

所述上半部分螺丝孔与下半部分螺丝孔的螺丝连接方式为铝制螺丝或者不导磁材料螺丝连接。上半部分螺丝孔与下半部分螺丝孔主要作用是固定探头元件放置块与支撑块。

探头元件放置块材质需要较高的机械强度和良好的绝缘性，优选电木，主要作用是为高斯计探头提供水平放置区；支撑块材质需要较高的机械强度和良好的绝缘性，优选电木。

本实用新型的有益效果：

本实用新型可有效保证测量的准确性，且具有操作简便，稳定性高，不影响测量效果等特点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型在测量靶材表面磁场时示意图。

图3为本实用新型的俯视示意图。

具体实施方式

下面结合附图1、2、3对本实用新型进行详细说明：

一种用于固定高斯计的治具，它包括探头元件放置块1、支撑块2、上半部分螺丝孔3、探头元件放置孔4和下半部分螺丝孔5，支撑块2位于探头元件放置块1的下方，用于支撑探头元件放置块1，上半部分螺丝孔3与下半部分螺丝孔5通过螺丝连接。

所述上半部分螺丝孔3与下半部分螺丝孔5的螺丝连接方式为铝制螺丝或者不导磁材料螺丝连接。

所述上半部分螺丝孔与下半部分螺丝孔的螺丝连接方式为铝制螺丝或者不导磁材料螺丝连接。上半部分螺丝孔与下半部分螺丝孔主要作用是固定探头元件放置块与支撑块。

探头元件放置块材质需要较高的机械强度和良好的绝缘性，优选电木，主要作用是为高斯计探头提供水平放置区；支撑块材质需要较高的机械强度和良好的绝缘性，优选电木。

如图2，靶材7为磁控溅射的重要原材料，靶材7绑定在铜背板6上，由于靶材在工作时表面温度很高需要冷却，而铜的导热性很好，一般将靶材7制作在铜背板6上，便于散热，靶材7和铜背板6组合成平面靶材最常见形式。高斯计8为示意图，用高斯计8测量磁场强度时探头必须要垂直于靶材7表面。探头元件放置块1为保证测量点的准确性需要与靶材表面平行放置，探头元件放置块1在需根据高斯计8探头元件的尺寸选择厚度，目的是保证高斯计8探头垂直于靶材表面。支撑块2通过铝制螺丝或是不导磁螺丝与探头元件放置块1连接到一起，上半部分螺丝孔3与下半部分螺丝孔5是螺丝的连接位置。此实用新型不仅限于此，探头元件放置块1和支撑块2可以为一整体。支撑块2下部与靶材7中间无材料部分相比宽度略小，以满足刚好卡住支撑块2下部为最佳。探头元件放置孔4主要作用是卡住高斯计8，探头元件放置孔4的位置排列要均匀，探头元件放置孔4的个数根据需要进行加工。