[实用新型]能供多炉台共用的外部连续投料装置

说明书

技术领域

本实用新型是关于直拉硅单晶炉设备，特别涉及能供多炉台共用的外部连续投料装置。

背景技术

单晶炉直拉法生长过程中，多晶硅原料放入石英坩埚中进行熔料、拉晶。单晶炉拉晶完成后，准备新一炉的生产需要做很多繁杂的前期工作，包括停炉冷却、清炉、装料、抽真空、化料等工序，这些前期工作，浪费了大量的时间和能耗。单晶炉在一次硅单晶拉制完成后，可以使用外部连续投料装置，继续投入多晶硅料，以便拉制多根晶棒。

通常的外部连续投料装置体积比较大，安装比较费时、费力，故不能有效地再在复投完成之后转移到别的炉子进行复投。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种安装、拆卸方便的能供多炉台共用的外部连续投料装置。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供能供多炉台共用的外部连续投料装置，包括料筒和输送腔，用于对单晶炉进行外部投料，所述料筒的顶部设有加料口，底部设有出料口，出料口上设有底部法兰；所述输送腔包括横向空腔和斜向空腔，横向空腔和斜向空腔连接成内部空腔互通的锐角状L形结构，横向空腔的端部上侧设有进料口，进料口上设有进料法兰，进料法兰与料筒的底部法兰相连，横向空腔中装有传送装置，传送装置包括电机、主动轴、传动轴和输送带，主动轴和传动轴之间通过输送带连接，电机用于为主动轴提供转动的动力；斜向空腔的底部设有斜出料口，斜出料口上设有斜口法兰，斜口法兰通过波纹管与单晶炉炉盖上的球阀连接，斜向空腔中设有石英轨道装置，石英轨道装置上安装有一根石英管，石英管能在石英轨道装置上沿斜向空腔的轴向实现位移。

作为进一步的改进，所述石英管在石英轨道装置上沿斜向空腔的轴向位移，能实现状态：石英管的一端穿过斜口法兰、波纹管和球阀，位于单晶炉的炉室内部，石英管的另一端位于斜向空腔的底部。

作为进一步的改进，所述外部连续投料装置还包括装料小车，装料小车的底部设有轮子和能调节高度的支撑脚，装料小车上设有能够进行升降的支撑平台，输送腔中的横向空腔固定在支撑平台上。

作为进一步的改进，所述装料小车上设有电机，电机用于为装料小车的轮子提供动力，实现装料小车的移动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

在完成外部投料后，提升石英管后关闭球阀，再对波纹管与球阀连接处拆卸，不需对料筒和输送腔进行操作，移动装料小车至其它炉台，即可再次简单安装后进行外部投料，能够大幅提升生产效率，节约成本。

附图说明

图1为本实用新型的装置示意图。

图中的附图标记为：1料筒；2加料口；3输送腔；4石英轨道装置；5斜口法兰；6传送装置；7装料小车；8支撑平台；9支撑脚；10轮子；11波纹管；12球阀；13炉盖；14石英坩埚；15石英管。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

图1中的能供多炉台共用的外部连续投料装置包括料筒1、输送腔3和装料小车7，用于对单晶炉进行外部投料。料筒1的顶部设有加料口2，底部设有出料口，出料口上设有底部法兰。输送腔3包括横向空腔和斜向空腔，横向空腔和斜向空腔连接成内部空腔互通的锐角状L形结构，横向空腔的端部上侧设有进料口，进料口上设有进料法兰，进料法兰与料筒1的底部法兰相连，横向空腔中装有传送装置6。传送装置6包括电机、主动轴、传动轴和输送带，主动轴和传动轴之间通过输送带连接，电机用于为主动轴提供转动的动力，传送装置6能使从料筒1出料口落入输送带上的硅料水平移动到斜向空腔。斜向空腔的底部设有斜出料口，斜出料口上设有斜口法兰5，斜口法兰5通过波纹管11与单晶炉炉盖13上的球阀12连接，斜向空腔中设有石英轨道装置4，石英轨道装置4上安装有一根石英管15，石英管15能在石英轨道装置4上沿斜向空腔的轴向进行位移，能实现状态：石英管15的一端穿过斜口法兰5、波纹管11和球阀12，位于单晶炉的炉室内部，石英管15的另一端位于斜向空腔的底部。装料小车7的底部设有轮子10和能调节高度的支撑脚9，装料小车7上设有能通过液压进行升降的支撑平台8，输送腔3中的横向空腔固定在支撑平台8上。装料小车7可手动操作对其移动，也可在装料小车7上安装电机，电机为装料小车7的轮子10提供动力，实现装料小车7的移动。

装料小车7、料筒1和输送腔3都是相互独立的。料筒1和输送腔3的受力都在装料小车7上，对单晶炉没承重。该外部连续投料装置完成外部投料后可方便拆卸移动至其它炉台进行外部投料。