[实用新型]光路简单的激光干涉仪

说明书

技术领域

   本实用新型涉及一种激光干涉仪，尤其是一种体积小、光路简单的激光测量干涉仪，具体地说是一种光路简单的激光干涉仪。

背景技术

干涉测量技术是以光波干涉原理为基础进行测量的一门技术，在现代精密测量领域中，许多测量工作都是靠干涉法实现的。随着科学技术的不断发展，特别是激光技术的出现及其在干涉测量领域中的应用，使干涉测量技术在量程、分辨率、抗干扰能力、测量精度等方面有了显著的进步。随着数字技术和图像采集技术的产生和发展，各种新型的Fizeau型激光干涉仪不断出现，如美国Zygo公司推出的GPI系列干涉仪、成都太科光电技术有限公司研制的OSI系列的激光干涉仪，可以满足不同的测量要求。与此同时也相应的存在某些不足之处，如设备复杂、制造困难，系统稳定性差、要求较高的环境条件，因而他们大多是只能在实验室的条件下使用。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的激光干涉仪光路复杂，体积大，难以工业化应用的问题，设计一种体积小、结构紧凑型的激光干涉仪，通过对光路的简化，使仪器实现高精度、便捷测量。

本实用新型的技术方案是：

一种光路简单的激光干涉仪，它包括激光器，第一1/4波片1，线性偏振片2、斜方棱镜4、第一垂直转向棱镜5、反向棱镜6、第二垂直转向棱镜7、标准镜8、参考镜镜9、透镜10、第二1/4波片11、汇聚透镜12、中心开孔透镜13和CCD摄像头14，其特征是所述的激光器发出的偏振光首先经过第一1/4波片1、线性偏振片2后形成线性偏振P光，线性偏振P光进入由斜方棱镜4、第一垂直转向棱镜5、第二垂直转向棱镜7以及反向棱镜6组成的棱镜系统，线性偏振P光通过在棱镜系统中的转向传播后通过第二垂直转向棱镜7射出棱镜系统，并再次经过第二1/4波片11、透镜10，最终形成偏振态为圆偏振的平行光出射，出射的平行光分别经过参考透镜9和标准镜面8反射之后，形成位相不同的两束光并且反射回棱镜系统；反射回棱镜系统的光线变成线性偏振S光，并与入射的P光重合，按原光路返回至斜方棱镜4与第一垂直转向棱镜5的接触面处发生转折，与原光路分离；转折出来的S光再次经过汇聚透镜12及中心开孔透镜13之后，成像在CCD14上，最终形成干涉条纹。

所述的线偏振P光先经过光学镜片3发散之后进入棱镜系统。

本实用新型的有益效果：

本实用新型光路的简单，体积小，精度高、测量方便。

本实用新型由4组棱镜组成棱镜转向系统，因而使得激光干涉仪的体积小、光路简化。入射光线经过1/4波片和线性偏振片后变成线偏振为P的偏振光，而反射回来的光线经过1/4波片后变成线偏振为S的偏振光。两束光共光路且互不影响。

附图说明

图1是本实用新型的主视图及光路走向示意图。

图2是图1的左视图。

图3是图1的俯视及光路走向图。

图中黑色箭头线表示反射线走向，灰色箭头线表示入射光线走赂。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

    如图1-3所示。

一种光路简单的激光干涉仪，它包括激光器，第一1/4波片1，线性偏振片2、光学镜片3、斜方棱镜4、第一垂直转向棱镜5、反向棱镜6、第二垂直转向棱镜7、标准镜8、参考镜镜9、透镜10、第二1/4波片11、汇聚透镜12、中心开孔透镜13和CCD摄像头14，所述的激光器发出发出的偏振光首先经过第一1/4波片1、线性偏振片2后形成线性偏振P光，线性偏振P光经过光学镜片3之后进入由斜方棱镜4、第一垂直转向棱镜5、第二垂直转向棱镜7以及反向棱镜6组成的棱镜系统，如图1、2所示，线性偏振P光通过在棱镜中的转向传播后通过第二垂直转向棱镜7射出棱镜系统，并再次经过第二1/4波片11、透镜10，最终形成偏振态为圆偏振的平行光出射，出射的平行光分别经过参考透镜9和标准镜面8反射之后，形成位相不同的两束光并且反射回棱镜系统；反射回棱镜系统的光线变成线性偏振S光，并与入射的P光重合，按原光路返回至斜方棱镜4与第一垂直转向棱镜5的接触面处发生转折，与原光路分离；转折出来的S光再次经过汇聚透镜12及中心开孔透镜13之后，成像在CCD14上，如图3最终形成干涉条纹。入射光线经过第一1/4波片和线性偏振片后变成线偏振为P的偏振光，而反射回来的光线经过第二1/4波片后变成线偏振为S的偏振光，两束光共光路且互不影响。

本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。