[实用新型]恒温式热水装置

说明书

技术领域

本实用新型有关于一种热水装置，尤指一种恒温式热水装置，可使输出的流体达到更加稳定的恒温效果。

背景技术

按，近十几年来，全球科技进步速度与日遽增，除不断提升科技产品的性能，更大力地改善产品的可携性及精密度，因此，伴随着积体电路的特征尺寸快速缩小，所需蚀刻率分布的均匀度亦随之紧缩，以致于晶圆上的温度变化则必须减至最低或消除，然而，若晶圆的温度差过大，便会使得晶圆表面的积体电路，因晶圆本身膨胀收缩的物理原理，导致积体电路的断裂，进而提高晶圆的报废率，其中，于半导体制程的条件中对于晶圆上的温度变化有着直接影响关系，便是清洗步骤中清洗剂的流体温度，因此，为满足此种迫切需求所构思的制程条件，则须开发出可减少温度误差的恒温设备。

习知的恒温热水装置，其包括有：一热交换器，其内部设置一连续弯曲的加热管，并于热交换器的两侧设有一入水口及一出水口，而入水口可供一常温流体流入，加热管可供一热源，其中，常温流体经由接触加热管的外侧进行热量交换，并流出于出水管形成一恒温流体，藉由温度控制器调整固定常温流体与恒温流体的温度差。

上述先前技术对于实用性及利用性上仍尚欠不足，并具有以下二点缺点存在，其一者，此种恒温热水装置仅装设一组，容易导致恒温不够完全，当面临大型的半导体工厂，于仅有一组热交换器的配置下，可搭配性较低，且其流通路径较短，使得流体稳定温度的时间较为不足，将无法符合准确恒温的效果，另一者，此种恒温方式仅使常温流体接触于加热管的外侧，藉以产生热交换的现象，然而，习知的恒温热水装置并无针对内部进行特别设计，流体流动的模式通常属于层流，流体间质点互相平行，较不互相干扰，使得温度传递不够迅速。

因此，如何开发出一种具有恒温效果的热水装置，以加强流体流动的温度稳定性，加强缩短温度值误差，以运用于现今高精密度需求的半导体制程的清洗步骤，是本实用新型人所欲改良的问题所在。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种恒温式热水装置，以解决现有技术存在的缺陷，通过两组热交换器的设置，并搭配侦测回流的方式，达到较高的温度稳定性。

为实现上述目的，本实用新型一种恒温式热水装置，其连接一流通一常温流体的第一管路，其特征在于包括有：

一第一热交换器，其内部具有数个第一扰流板，而该第一热交换器分别连接于该第一管路及一连通管，使该常温流体自该第一管路流经该第一热交换器形成一第一恒温流体，并输入于该连通管；

一第二热交换器，其内部具有数个第二扰流板，而该第二热交换器分别连接于该连通管及一第二管路，使该第一恒温流体自该连通管流经该第二热交换器形成一第二恒温流体，并输入于该第二管路；以及

一单向管，其连接设置于该第一管路及该第二管路之间，供该第二恒温流体以选择性的方式经由该单向管再度流入该第一热交换器。

其中，该些第一扰流板以对向间隔的方式设置于该第一热交换器。

其中，该些第二扰流板以对向间隔的方式设置于该第二热交换器。

其中，该第二管路的流通路径上设有一设定一温度稳定值的温度感测器。

其中，该单向管的流通路径上设有一与该温度感测器电性连通的单向阀。

其中，该第一热交换器及该第二热交换器分别设有一将该第一热交换器及该第二热交换器内部产生的高压气体进行排气处理的排气阀。

其中，该第一热交换器及该第二热交换器分别设有一分别调控该第一热交换器及该第二热交换器内部温度值的温控器。

其中，该第一管路及该第二管路分别设有一入水阀及一出水阀。

其中，该连通管的流通路径上设有一使该第一恒温流体进入该第二热交换器的马达。

藉由上述，本实用新型达成功效之一，其中，藉由第一热交换器及第二热交换器的设置下，可搭配性提高，不仅限于单一热交换器的单出单入，且拖长其流体的流通路径，可供增加流体稳定温度的时间，以达成准确恒温的效果。

藉由上述，本实用新型达成功效之二，其中，利用将第一扰流板及第二扰流板分别以对向间隔的方式设置于第一热交换器及第二热交换器，使流体流入于第一热交换器及第二热交换器可产生扰流现象，除可向前流动外，且分裂成许多涡流，并与侧边的流体互相混合，可使得温度传递较为迅速，均匀扩散于流体的整体。