[实用新型]具有孔状式晶圆洗净槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有孔状式晶圆洗净槽。

背景技术

目前，清洗晶圆的结构装置许多，请参阅中国台湾专利申请案号100218522号晶圆清洗装置，主要清洗槽座内晶圆置入二根清洗滚轮组之间，并以上方二根喷洒机构作为喷洒，而以皮带轮传动组作为传动，该结构无法作到多片清洗的效率，工法较繁琐为其缺失。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型要解决的技术问题在于提供一种具有孔状式晶圆洗净槽，可使晶圆充分获取清洗加工作业，提高清洗的效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种具有孔状式晶圆洗净槽，其由洗净槽、固定座、夹具头、数个喷水结构、快排水自动阀、氮气管盘、进退回转马达、进水管、供水管、溢水孔及加压马达所组装成，其中该洗净槽呈倒凸形，而内部左、右两侧装设有喷水结构，所述喷水结构主要由供水管、喷水头所组装成，装设在洗净槽由上往下的左、右侧并装设有喷水头，洗净槽前、后侧面与左侧面装设溢水孔，固定座装设在洗净槽的上方固定夹具头，而夹具头装设在固定座的下方，而夹具头的两侧装设被洗净晶圆，而洗净槽底部装设一氮气管盘，而洗净槽的底部装设有一快排水自动阀。

作为优选方案，加压马达上方连接加压的进水管，而下方连接未加压的进水管并与洗净槽连接动作。

作为优选方案，进退回转马达的连接杆连接洗净槽。

作为优选方案，氮气管盘由多孔槽板及缠绕多孔槽板的氮气管所组成，所述氮气管盘装设在洗净槽的底部与快排水自动阀之间。

作为优选方案，多孔槽板上装设有规律排列的孔洞。

本实用新型达到的技术效果如下：本实用新型的产品可以使晶圆获得充分地洗净，同时提高了清洗的效率，工作程序得到了简化。

附图说明

图1为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽剖面图一；

图2为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽剖面图二；

图3为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽前视图；

图4为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽侧面剖面图一；

图5为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽侧面剖面图二；

图6为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽左侧视图；

图7为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽俯视图一；

图8为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽俯视图二；

图9为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽的多孔槽板剖视图；

图10为本实用新型具有孔状式晶圆洗净槽的氮气管盘剖视图。

【符号说明】

1         洗净槽

2          固定座

2’      固定座

21        夹具头

3          快排水自动阀

3’       快排水自动阀

4          喷水结构

41~52   供水管

5         氮气管盘

51’    多孔槽板

52’    氮气管

6         溢水孔

7         孔洞

f1~f12  喷水头

B1       后退方向

B2       前进方向

M1      加压马达

M2      进退回转马达

M21    连接杆

P1       进水管

P2       进水管

S1       晶圆

S2       晶圆。

具体实施方式