[实用新型]高架地板气流调节装置及高架地板系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及气流调节装置，尤其涉及一种高架地板气流调节装置及具有该装置的高架地板系统。

背景技术

现如今在半导体制造或生化制药等高科技厂房中，无尘洁净室是相当重要的设施。在无尘洁净室中，通风系统为一个重要的系统，其必须要能够维持无尘室内的气流以稳定的流速进行循环，以保证无尘室内空气的洁净度，避免出现气流流速过快而造成灰尘随处飘散的情形，同时还要维持洁净室内稳定的气压，因此必须要通过适当的调整与控制来维持气流循环的流速和气压。

无尘室内的高架通风地板可以实现调整与控制气流的目的，其具体包括：固定板，其上设置有通风孔，通风孔用于供气体流通；活动板，与固定板平行且相对设置；调节旋杆，用于调节活动板沿所述平行的方向移动，且其一端面外露，该外露的端面上还设有凹槽，以供使用者能够用螺丝刀等外力工具转动调节旋杆。当调节旋杆转动时将驱动活动板移动，以使活动板打开或关闭通风孔。在调节活动板移动的过程中，通风孔的开口率会发生变化，从而达到调节和控制气体流量的目的，使气流的流速和气压保持均匀稳定。

但是，当制造设备放置在无尘室的高架通风地板之后，通常都会将部分通风地板遮挡，这样就不可避免地遮挡该部分地板上的调节旋杆和通风孔，造成该部分通风地板的排气受阻，而由于调节旋杆也被遮挡，因此无法通过调节旋杆来调节通风孔的开口率，进而无法调节和控制气流，导致无尘室内出现偏角度过大的横向气流或气流流速不均匀，影响无尘室的洁净度。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供了一种高架地板气流调节装置及高架地板系统，将设备放置在高架地板之后，能够保证气流的流速均匀稳定，避免对无尘室内空气的洁净度造成影响。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种高架地板气流调节装置，包括：

固定板，所述固定板设有多个通风口，所述多个通风口用于供气流通过；

活动板，可移动地设置在所述固定板上、且与所述固定板相对设置，所述活动板由多个间隔设置的遮孔板连接而成，每个所述遮孔板分别与一个所述通风口相对应，当所述活动板相对于所述固定板平行移动时，所述遮孔板改变与其对应的通风口的开口率；

自动调节机构，用于调节所述活动板与所述固定板的相对位置，以调节所述通风口的开口率。

可选地，所述自动调节机构包括控制器，所述控制器连接有电机，所述电机连接有齿轮，所述齿轮与齿条啮合，所述齿条连接所述活动板，且所述齿条平行于所述活动板的移动方向，其中，所述控制器、所述电机、所述齿轮以及所述齿条均设置在所述固定板上。

可选地，所述电机通过皮带传动机构连接所述齿轮。

其中，所述齿条连接有位移传感器，所述位移传感器连接所述控制器，所述控制器连接有显示单元；

所述传感器用于检测所述齿条的移动距离、并将所述移动距离传输至所述控制器，所述移动距离为单个所述通风孔沿所述移动方向的距离。

进一步地，所述控制器包括开口率计算单元，所述开口率计算单元根据所述移动距离获得所述通风口的开口率，所述开口率的范围为0%≤开口率≤100%。

可选地，所述位移传感器为接触式位移传感器。

可选地，所述位移传感器为非接触式位移传感器。

其中，所述位移传感器为非接触式位移传感器，且数量为两个，分别为第一位移传感器和第二位移传感器，所述第一传感器位于所述齿条移动的始端，第二位移传感器位于所述齿条移动的末端。

进一步地，靠近所述活动板的位置设有压力传感器，所述压力传感器用于检测气流的压差；

或靠近所述活动板的位置设有速度传感器，所述速度传感器用于检测气流的流速。

本实用新型实施例还提供了一种高架地板系统，包括支架，以及权利要求上述的高架地板气流调节装置，所述高架地板气流调节装置支撑在所述支架上。