[实用新型]多晶硅流化床反应器有效
申请号: | 201320485019.0 | 申请日: | 2013-08-08 |
公开(公告)号: | CN203461823U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 朱晓龙;茅陆荣;郑飞龙;陈瑜 | 申请(专利权)人: | 上海森松新能源设备有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人: | 马育麟 |
地址: | 201323 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 流化床 反应器 | ||
1.多晶硅流化床反应器,包括壳体,其特征在于,所述壳体内部设置有圆锥形的气体分布器,所述壳体内上方设有扩大段,所述壳体内上方设置旋风分离器;所述壳体顶部设置有进料口和尾气出口;在所述壳体底部设有产品颗粒硅出料口。
2.根据权利要求1所述的多晶硅流化床反应器,其特征在于:所述气体分布器为锥形分布板,其半锥角为30°~60°。
3.根据权利要求1所述的多晶硅流化床反应器,其特征在于:所述气体分布器上布置有可拆式风帽。
4.根据权利要求1所述的多晶硅流化床反应器,其特征在于:所述气体分布器下方设有工艺气体进气缓冲腔。
5.根据权利要求1所述的多晶硅流化床反应器,其特征在于:所述扩大段半锥角为10°~60°。
6.根据权利要求1所述的多晶硅流化床反应器,其特征在于:所述旋风分离器为内置形式。
7.根据权利要求6所述的多晶硅流化床反应器,其特征在于:所述旋风分离器的出口与尾气出口连接。
8.根据权利要求1所述的多晶硅流化床反应器,其特征在于:所述产品颗粒硅出料口内部设有反吹口。
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