[实用新型]一种高效再生低温泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种低温泵，具体为一种高效再生低温泵。

背景技术

低温泵在抽气过程中，气体分子首先与低温泵的障板发生碰撞，凝固点高的气体分子，如水、氮气等将会在直接吸附在障板表面，而一些凝固点低的气体分子，如氢气、氦气等则会通过障板，被吸附阵吸附。在低温泵工作一段时间后，由于表面覆盖了比较厚的吸附分子，如图1中的11所示，此时低温泵难以继续维持其抽气性能，需要进行再生。再生的方法是在制冷机的一级冷头和二级冷头处分别安装一加热块，将低温泵的障板、冷屏和吸附阵进行加热，此时吸附的分子会发生脱附。在低温泵的抽气再生口处安装一台机械泵，将脱附的分子抽走。

在进行加热过程中，脱附分子首先通过障板从冷屏口扩散出去，然后会沿着冷屏与壳体之间的空隙，最终通过抽气口而排出。因为障板的结构特殊，流导受限制，脱附分子通过障板时会经过与障板多次碰撞才通过，所以严重影响了再生效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高效再生低温泵，以解决现有技术中由于障板的结构特殊，流导受限制，脱附分子通过障板时会经过与障板多次碰撞才通过，所以严重影响了再生效率的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种高效再生低温泵，其特征在于：包括有泵壳体，所述泵壳体上端安装有制冷机，并设有与泵壳体内腔连通的安全阀和抽气再生口，所述泵壳体下端设有泵口法兰，所述泵壳体内由上至下分布有制冷机一级冷头和制冷机二级冷头，所述制冷机二级冷头外罩有冷屏，所述冷屏内设有吸附阵和障板，所述冷屏侧壁上开有通气孔。

所述的一种高效再生低温泵，其特征在于：所述通气孔设置在冷屏侧壁中段。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型结构简单合理，采用在冷屏上设置通气孔的设计，这样在再生过程中，从吸附阵表面脱附的气体分子，可以直接通过该孔进入壳体上端，然后通过抽气口排出，避免了所有脱附分子都必须经过障板的问题，有效地缩短了低温泵再生时间，提高了再生效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种高效再生低温泵，包括有泵壳体2，泵壳体2上端安装有制冷机1，并设有与泵壳体2内腔连通的安全阀9和抽气再生口8，泵壳体2下端设有泵口法兰10，泵壳体2内由上至下分布有制冷机一级冷头6和制冷机二级冷头7，制冷机二级冷头7外罩有冷屏3，冷屏3内设有吸附阵4和障板5，冷屏3侧壁上开有通气孔12，吸附阵4和障板5表面在抽气过程中会覆盖较厚的吸附分子11。

通气孔12设置在冷屏3侧壁中段。