[实用新型]一种真空腔密封面检漏工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空腔密封面的检漏工具。该检漏工具适用于检测各种设备上的真空腔的密封平面的某个存在划痕、凹陷等微小损伤的局部区域的密封性能。

背景技术

在现代工业中，很多工业设备上都会设有真空腔，其气密性的好坏直接影响工业生产。以大面积真空磁控溅射镀膜玻璃生产设备为例，在生产前，对其真空腔的密封面必须进行检漏测试，以此判断设备的密封性是否满足要求。现有检漏测试做法如下：直接按实际使用状态将真空腔的腔体和盖板或腔体和腔体装配起来形成真空腔，然后抽真空检漏，由于腔体和盖板的面积大，且密封面区域大，上述检漏操作极为不便，尤其在检漏时发现有泄露现象，再打开密封面进行修复处理是极其困难的。此外，反复的拆装检漏也可能会对密封条、密封面造成损伤。                                                        

发明内容

本实用新型目的是提供一种真空腔密封面检漏工具，以便对真空腔密封平面上存在泄露隐患的密封区域进行单独预先检漏。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空腔密封面检漏工具，包括：

一检漏板，其一侧板面为平面，该平面作为检漏作用面；

一密封圈定位槽，开设于检漏作用面上，且该密封圈定位槽为封闭回路；

一密封圈，嵌设于密封圈定位槽内，且密封圈突出于密封圈定位槽的槽口；

一抽气槽，开设于检漏作用面上，且位于密封圈定位槽围成的区域内；

至少一抽气孔，设于检漏板上，抽气孔一端与抽气槽连通。

     上述技术方案中的有关内容解释如下：

1、上述方案中，所述密封圈定位槽具体是由两段相距平行设置的直槽段以及连接在两直槽段端部间的弧形段构成。进一步，所述抽气槽平行于直槽段，其两端与弧形段连通。再进一步，所述抽气孔为两个，这两抽气孔各位于抽气槽的两端。

2、上述方案中，所述检漏板上对应检漏作用面的反向的另一板面上设有磁性吸铁装置。

3、上述方案中，所述检漏板上对应检漏作用面的反向的另一板面上设有起吊螺钉。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型可以对真空腔密封平面上存在瑕疵（如存在微小划痕、凹陷）的局部区域进行单独预先检漏，在设备进行整体检漏前就排除泄露隐患，减少整体检漏时发现泄漏的可能，从而避免了重复拆装多次进行整体检漏；并且本实用新型可对任意位置的密封平面进行检漏。

附图说明

图1为本实用新型的结构主视示意图；

图2为本实用新型的结构仰视示意图；

以上附图中：1、检漏板；2、检漏作用面；3、密封圈定位槽；4、密封圈；5、抽气槽；6、抽气孔；7、直槽段；8、弧形段；9、磁性吸铁装置；10、起吊螺钉；11、管接头。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例：参见图1及图2所示：

一种真空腔密封面检漏工具，参见图1及图2所示：包括检漏板1、密封圈定位槽3、密封圈4、抽气槽5以及至少一抽气孔6。所述检漏板1的一侧板面为平面，该平面作为检漏作用面2；密封圈定位槽3开设于检漏作用面2上，且该密封圈定位槽3为封闭回路。

密封圈4嵌设于密封圈定位槽3内，且密封圈4突出于密封圈定位槽3的槽口，这是指密封圈的厚度大于密封圈定位槽3的槽深，使密封圈4的作用面突伸于密封圈定位槽3的槽口外，通常密封圈4突出密封圈定位槽3的部分高2mm。抽气槽5开设于检漏作用面2上，且位于密封圈定位槽3围成的区域内；抽气孔6，设于检漏板1上，抽气孔6一端与抽气槽5连通。

具体如图1及图2所示，所述密封圈定位槽3具体是由两段相距平行设置的直槽段7以及连接在两直槽段端部间的弧形段8构成；抽气槽5平行于直槽段7，其两端与弧形段8连通；抽气孔6为两个，这两抽气孔6各位于抽气槽5的两端，且抽气孔6是沿检漏板1的板厚方向开设的，其一端与抽气槽5连通，另一端则与设于检漏板1上对应检漏作用面2的反向的另一板面上的管接头11连接。

参见附图1所示，所述检漏板1上对应检漏作用面2的反向的另一板面上设有磁性吸铁装置9，图示为左右各一个磁性吸铁装置9，当需要对非水平密封面进行检漏时，打开磁性吸铁装置9，即可使检漏板1平稳地吸附在待检漏密封面上，保证检漏顺利进行。