[实用新型]蓝宝石晶体生长用钨板加热器有效
申请号: | 201320489317.7 | 申请日: | 2013-08-12 |
公开(公告)号: | CN203420013U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 赵广军;李政鸿;梁晓亮 | 申请(专利权)人: | 元鸿(山东)光电材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
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地址: | 272000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 晶体生长 用钨板 加热器 | ||
技术领域
本实用新型属于晶体加工技术领域,更具体的说是一种晶体生长炉中使用的蓝宝石晶体生长用钨板加热器。
背景技术
目前,现有技术的蓝宝石晶体的生产方法一般采用的是泡生法,泡生法生长蓝宝石晶体所使用的钨棒加热器是由一定直径和一定长度的钨棒通过折弯进行组装形成的笼状结构,这种笼状加热器的直径和所需的钨棒数目根据泡生法的温场工艺条件进行选择,但是,这种笼状钨棒加热器具有如下明显的缺点:
1)由于折弯的钨棒在加工过程中引入较多的应力,使得加热器的底部容易变形断裂;
2)高温稳定性能差,容易变形,造成温场不均,影响产品质量;
3)维修使用不方便,使用成本较高。
而目前使用的细丝钨网状加热器和钨棒笼状加热器相比虽然具有发热稳定无折弯等优点,但是细丝编制复杂,对钨丝材料要求极高、且在组装和拆卸过程中容易损坏,维修不便,大大缩短了加热器寿命短。
发明内容
为了解决上述问题,本实用新型提供了一种结构合理、高温稳定性能良好、不容易发生变形、热场均匀稳定、晶体产品质量较高、维修使用方便、使用成本较低的蓝宝石晶体生长用钨板加热器,其具体方案为:所述的蓝宝石晶体生长用钨板加热器由带弧钨板、底部固定环、圆形钨环、固定螺栓、通孔、固定铆钉组成,其特征是带弧钨板的上端通过固定铆钉固定在底部固定环上,底部固定环上均匀设置通孔,用于与铜电极相连接,带弧钨板的下端设置圆形钨环,带弧钨板通过固定螺栓与圆形钨环相连接。
本实用新型所述的带弧钨板,其特征在于带弧钨板的宽度设置为30~50mm,厚度设置为1~3mm。
本实用新型所述的底部固定环,其特征在于底部固定环的材质采用钨或钼的一种,其厚度采用3~5mm。
本实用新型所述的固定螺栓,其特征在于固定螺栓的材质采用钨或钼的一种。
本实用新型所述的固定铆钉,其特征在于固定铆钉的材质采用钨或钼的一种。
本实用新型的有益效果是蓝宝石晶体生长用钨板加热器结构合理,高温稳定性能良好,不容易发生变形,热场均匀稳定,晶体产品质量较高,维修使用方便,使用成本较低。
附图说明
附图1是本实用新型的结构示意图;附图1中:
1.带弧钨板,2.底部固定环,3.圆形钨环,4. 固定螺栓,5. 通孔,6. 固定铆钉。
具体实施方式
结合附图1对本实用新型进一步详细描述,以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法,本实用新型具体的实施方案为:所述的蓝宝石晶体生长用钨板加热器由带弧钨板1、底部固定环2、圆形钨环3、固定螺栓4、通孔5、固定铆钉6组成,其特征是带弧钨板1的上端通过固定铆钉6固定在底部固定环2上,底部固定环2上均匀设置通孔5,用于与铜电极相连接,带弧钨板1的下端设置圆形钨环3,带弧钨板1通过固定螺栓4与圆形钨环3相连接。
本实用新型所述的带弧钨板1,其特征在于带弧钨板1的宽度设置为30~50mm,厚度设置为1~3mm。
本实用新型所述的底部固定环2,其特征在于底部固定环2的材质采用钨或钼的一种,其厚度采用3~5mm。
本实用新型所述的固定螺栓4,其特征在于固定螺栓4的材质采用钨或钼的一种。
本实用新型所述的固定铆钉6,其特征在于固定铆钉6的材质采用钨或钼的一种。
本实用新型的有益效果是蓝宝石晶体生长用钨板加热器结构合理,高温稳定性能良好,不容易发生变形,热场均匀稳定,晶体产品质量较高,维修使用方便,使用成本较低。
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