[实用新型]蓝宝石炉双波纹管新型称重系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石炉双波纹管技术领域，具体涉及一种蓝宝石炉双波纹管新型称重系统。

背景技术

在KY法蓝宝石炉晶体生长过程中，对重量的测量非常重要，整个长晶工艺都是围绕着重量进行控制，实时精确的重量测量基本决定了晶体最终的品质。目前KY法蓝宝石炉称重结构从晶体生长开始，波纹管的拉伸产生的干扰对实时判断晶体实际重量，产生了极大的困难，从而无法进行精确的自动控制。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石炉双波纹管新型称重系统，具有结构简单，调整方便，排除外部干扰，精度高的特点。

为达到以上目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种蓝宝石炉双波纹管新型称重系统，包括真空室8，底端置于真空室8内的籽晶轴7，在籽晶轴7顶端固定有籽晶轴座1，籽晶轴座1内有旋转密封装置，在所述真空室8顶端固定有下波纹管6，在下波纹管6顶端固定有滑座4，所述滑座4为中空状，在滑座4内底部和下波纹管6上下对应的位置固定有上波纹管5，上波纹管5顶端和籽晶轴座1底端连接，在滑座4位于籽晶轴座1两端的顶部固定有称重传感器3，在称重传感器3的输入端上垂直安装有称重连接板2，籽晶轴座1固定在称重连接板2上，所述真空室8、下波纹管6、上波纹管5和籽晶轴座1的底部围成真空腔室，所述籽晶轴7位于真空腔室内。

所述的称重传感器3位于真空腔室外。

所述的上波纹管5和下波纹管6的材质为不锈钢。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型在滑座4带动籽晶轴7升降过程中，下波纹管6被拉伸及压缩变形，下波纹管6变形所产生的干扰力由滑座4承受，不会对称重传感器3产生影响。

2、称重传感器3测量籽晶轴7和生长的晶体的总重量，在测量过程中，当晶体重量逐渐增大时，称重传感器3因测量产生的微变形由上波纹管5变形抵消。因上波纹管5产生的形变极小，因形变产生的重量干扰可以忽略不计，从而达到高精度测量的目的。

3、在排除波纹管对称重干扰的条件下，称重传感器依然安装在在真空腔室外，便于维修。

附图说明

附图为本实用新型结构原理图。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例，对本实用新型作进一步的详细描述。

如附图所示，本实用新型一种蓝宝石炉双波纹管新型称重系统，包括真空室8，底端置于真空室8内的籽晶轴7，在籽晶轴7顶端固定有籽晶轴座1，籽晶轴座1内有旋转密封装置，在所述真空室8顶端固定有下波纹管6，在下波纹管6顶端固定有滑座4，所述滑座4为中空状，在滑座4内底部和下波纹管6上下对应的位置固定有上波纹管5，上波纹管5顶端和籽晶轴座1底端连接，在滑座4位于籽晶轴座1两端的顶部固定有称重传感器3，在称重传感器3的输入端上垂直安装有称重连接板2，籽晶轴座1固定在称重连接板2上，所述真空室8、下波纹管6、上波纹管5和籽晶轴座1的底部围成真空腔室，所述籽晶轴7位于真空腔室内。

作为本实用新型的优选实施方式，所述的称重传感器3位于真空腔室外，便于维修。

作为本实用新型的优选实施方式，所述的上波纹管5和下波纹管6的材质为不锈钢。

本实用新型的工作原理为：

蓝宝石晶体在真空室8内生长，通过籽晶与籽晶轴7相连，随着晶体的生长，其所增加的重量通过籽晶轴7、籽晶轴座1和称重连接板2，传导至称重传感器3的输入端，从而实现晶体重量的测量。

蓝宝石晶体生长时，需要给定一定的拉速，使滑座4向上运动并带动籽晶轴1向上运动，下波纹管6受力拉伸，随着蓝宝石晶体的逐步生长，下波纹管6对滑座4产生的拉力逐渐增大，并存在波动，但下波纹管6上部受力在滑座4上，产生的力和波动由滑座4抵消，不会对称重传感器3产生影响。当晶体重量逐渐增大时，称重传感器3因测量产生微变形，产生的微变形由上波纹管5变形抵消。因上波纹管5产生的形变极小，因形变产生的重量干扰可以忽略不计，从而达到高精度测量的目的。