[实用新型]一种节能蓝宝石晶体炉

权利要求书

1.一种节能蓝宝石晶体炉，包括底板，在所述底板上方设有炉筒，在所述炉筒的上方设置炉盖，在所述炉筒内设有坩埚，所述坩埚外周设置加热器，所述坩埚底部设置坩埚支柱组件，所述加热器四周分别设置上隔热屏、中隔热屏、侧隔热屏、以及下隔热屏，在所述炉筒内设置籽晶杆，所述籽晶杆穿过所述炉盖及上隔热屏并进入所述加热器内部。

2.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于，所述炉筒、炉盖或底板外侧的任一部件设有带有水冷夹套。

3.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于，所述坩埚支柱组件包括空心圆管形坩埚支柱和多层支柱热屏组件；所述多层支柱热屏组件直径略小于所述的空心圆管形坩埚支柱的空心直径。

4.根据权利要求3所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于，所述多层支柱热屏组件的每层热屏之间用连接件相连，坩埚支柱下段的空心直径小于所述多层支柱热屏组件直径。

5.据权利要求3所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于，所述多层支柱热屏组件采用钼材制造。

6.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于，在所述底板之上与下隔热屏之间设置底部隔热组件。

7.根据权利要求6所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于，所述底部隔热组件采用钼材制造，包括有钼圆板、钼支架及坩埚支柱支架。

8.根据权利要求7所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于，所述钼支架采用圆环形。

9.根据权利要求7所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于，所述钼圆板、钼支架及坩埚支柱支架的空隙处填充氧化锆隔热材料。

10.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于所述坩埚支柱组件、坩埚或加热器的至少一种采用钨材制造。

11.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于所述侧隔热屏、上隔热屏、中隔热屏、下隔热屏的至少一种采用钼材制造。

12.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于所述炉筒、炉盖、底板的材质均为不锈钢。

13.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于所述炉筒与真空装置连接。

14.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于所述籽晶杆外部与传动机构相连接。

15.根据权利要求1所述的节能蓝宝石晶体炉，其特征在于所述籽晶杆采用钼材制造。