[实用新型]一种磷化氢气体监控装置以及磷化氢气体净化系统

权利要求书

1.一种磷化氢气体监控装置，应用于磷化氢气体净化系统中，其特征在于，该磷化氢气体监控装置包括：检测单元、控制单元和调节单元，所述控制单元内预设有浓度安全范围；

所述检测单元与所述控制单元相连，用于检测所述磷化氢气体净化系统所排出的磷化氢气体的浓度，并将检测得到的磷化氢气体浓度检测值发送给所述控制单元；

所述控制单元与所述调节单元相连，用于将所述磷化氢气体浓度检测值与其内预设的浓度安全范围进行比较，并根据比较结果向所述调节单元发送调节指令；

所述调节单元用于根据所述控制单元的调节指令，调节磷化氢气体净化系统的进气量。

2.如权利要求1所述的磷化氢气体监控装置，其特征在于，所述浓度安全范围为第一阈值与第二阈值之间的数值范围；所述第一阈值为所述磷化氢气体净化系统稳定运行情况下排放的磷化氢气体的浓度的最小值；所述第二阈值为允许所述磷化氢气体净化系统排放的磷化氢气体的浓度的最大值；

所述控制单元用于，在判断所述磷化氢气体浓度检测值小于第一阈值时，向所述调节单元发送增加进气量的调节指令；以及在判断所述磷化氢气体浓度检测值大于第二阈值时，向所述调节单元发送减少进气量的调节指令；

所述调节单元用于，根据所述增加进气量的调节指令增加磷化氢气体净化系统的进气量，以及根据所述减少进气量的调节指令减少磷化氢气体净化系统的进气量。

3.如权利要求2所述的磷化氢气体监控装置，其特征在于，所述控制单元具体用于，在判断所述磷化氢气体浓度检测值小于第一阈值时，计算第一阈值与磷化氢气体浓度检测值之间的差值，并计算所述差值与磷化氢气体浓度检测值的比值，将该比值携带于增加进气量的调节指令中，发送给所述调节单元；以及在判断所述磷化氢气体浓度大于第二阈值时，计算磷化氢气体浓度检测值与第二阈值与之间的差值，并计算所述差值与磷化氢气体浓度检测值的比值，将该比值携带于减少进气量的调节指令中，发送给所述调节单元；

所述调节单元具体用于，根据所述增加进气量的调节指令中携带的比值增加磷化氢气体净化系统的进气量；以及根据所述减少进气量的调节指令中携带的比值，减少磷化氢气体净化系统的进气量。

4.如权利要求2所述的磷化氢气体监控装置，其特征在于，所述第一阈值的范围设置为0.01-0.15ppm，所述第二阈值的范围设置为0.15-0.21ppm。

5.如权利要求2所述的磷化氢气体监控装置，其特征在于，所述控制单元内预设有调节单元的进气量初始值，所述进气量初始值为令所述磷化氢气体净化系统排放的磷化氢气体的浓度小于所述第一阈值的值；

所述控制单元还用于，在所述磷化氢气体净化系统初始化时，向所述调节单元发送携带有所述进气量初始值的调节指令；

所述调节单元还用于，在所述磷化氢气体净化系统初始化时，根据所述进气量初始值控制磷化氢气体净化系统的进气量。

6.如权利要求5所述的磷化氢气体监控装置，其特征在于，所述第一阈值的范围设置为0.01-0.15ppm；所述进气量初始值设置为50-100m³/h。

7.如权利要求1所述的磷化氢气体监控装置，其特征在于，还包括显示单元，所述显示单元与所述检测单元相连；

所述检测单元还用于将检测得到的磷化氢气体浓度检测值发送给所述显示单元；

所述显示单元用于显示所述磷化氢气体浓度检测值。

8.如权利要求1-7任一项所述的磷化氢气体监控装置，其特征在于，所述控制单元采用可编程逻辑控制器PLC；所述调节单元采用调节阀；所述检测单元采用检测探头。

9.一种磷化氢气体净化系统，包括抽风机和净化处理设备，其特征在于，该系统还包括权利要求1-8任一项所述的磷化氢气体监控装置。

10.如权利要求9所述的磷化氢气体净化系统，其特征在于，抽风机与净化处理设备的进气管连接，磷化氢气体监控装置的调节单元采用调节阀，所述调节阀设置于净化处理设备的进气管上；

磷化氢气体监控装置的检测单元采用检测探头，所述检测探头插入净化处理设备的出气管内。