[实用新型]TOF-SIMS的样品图像系统和TOF-SIMS

权利要求书

1.一种TOF-SIMS的样品图像系统，其特征在于，包括：安装于TOF-SIMS的主腔体外的电荷藕合器件图像传感器、变焦镜头和光源、以及设置于所述主腔体内的第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，所述第一反射镜、第二反射镜和所述第三反射镜上设有安装孔，所述第一反射镜、所述第二反射镜和所述第三反射镜通过安装孔套装于所述主腔体内的二次离子提取系统的壳体；

在所述光源发出的光射入所述主腔体的光路中：所述第一反射镜的一部分位于所述光源的出射光路上，所述第三反射镜的一部分位于所述第一反射镜的反射光路上，所述第二反射镜的一部分位于所述第三反射镜的反射光路上，TOF-SIMS的样品靶位于所述第二反射镜的反射光路上；

在所述样品靶反射的光射出所述主腔体的光路中：所述第二反射镜的另一部分位于所述样品靶的反射光路上，所述第三反射镜的另一部分位于所述第二反射镜的反射光路上，所述第一反射镜的另一部分位于所述第二反射镜的反射光路上，所述变焦镜头位于所述第一反射镜的反射光路上，所述电荷藕合器件图像传感器位于所述变焦镜头的出射光路上。

2.根据权利要求1所述的TOF-SIMS的样品图像系统，其特征在于，所述第二反射镜为球型凹面镜，所述第三反射镜为球型凸面镜，且所述第二反射镜和所述第三反射镜同心，所述第二反射镜和所述第三反射镜形成史瓦西Schwarzschild双反射结构。

3.根据权利要求2所述的TOF-SIMS的样品图像系统，其特征在于，所述球型凹面镜的曲率半径为86.775毫米，所述球型凹面镜上设有的安装孔的直径为68毫米；所述球型凸面镜的曲率半径为33.76毫米，所述球型凸面镜上设有的安装孔的直径为16毫米；所述球型凹面镜与所述球型凸面镜之间的距离为53.016毫米；所述样品靶与所述球型凸面镜的球心之间的距离为27.63毫米。

4.根据权利要求2所述的TOF-SIMS的样品图像系统，其特征在于，所述球型凹面镜和所述球型凸面镜的反射面上均设有铝反射层。

5.根据权利要求1所述的TOF-SIMS的样品图像系统，其特征在于，所述第一反射镜为具有45°斜面的平面反射镜，所述第一反射镜上设有的安装孔的直径为16毫米。

6.根据权利要求5所述的TOF-SIMS的样品图像系统，其特征在于，所述第一反射镜的反射面上设有铝反射层。

7.根据权利要求1～6任一项所述的TOF-SIMS的样品图像系统，其特征在于，所述光源包括：出射光为平行光的发光体、位于所述发光体出光侧的半透射半反射的光学平片。

8.一种TOF-SIMS，其特征在于，包括如权利要求1～7任一项所述的样品图像系统。