[实用新型]带密封功能的隔离门驱动器

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种带密封功能的隔离门驱动器。

背景技术

在半导体的生产工艺中，在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)，指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。

当反应腔室进行CVD工艺时，需要将反应腔室和通道隔离。目前是采用隔离门隔离，所述隔离门通过一个隔离门驱动器驱动。如图1所述，现有的隔离门驱动器包括驱动器本体1和一对撑杆2，所述撑杆2与所述隔离门固定连接，所述撑杆2能相对所述驱动器本体1（沿垂直于纸面的方向）移动，驱动器本体1通过驱动撑杆驱动隔离门关闭或者打开。由于驱动器本体采用液压驱动，因此经常出现压力油从驱动器本体1和撑杆2之间的缝隙中流出，污染反应腔室内的晶圆，造成产品良率降低。

因此，如何提供一种可以防止压力油泄露的带密封功能的隔离门驱动器是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带密封功能的隔离门驱动器，通过在驱动器本体和撑杆的连接处设置密封圈，可以防止驱动器本体中的压力油从撑杆和驱动器本体件的缝隙中泄露，从而可以避免泄露的压力油污染反应腔室中的晶圆，确保产品良率。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种带密封功能的隔离门驱动器，包括驱动器本体和一对撑杆，所述撑杆与所述隔离门固定连接，所述撑杆能相对所述驱动器本体移动，还包括压板和密封圈，所述压板上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔，所述压板固定设置于所述驱动器本体上，所述密封圈分别套设于所述撑杆上并位于所述压板和驱动器本体之间。

优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述压板是矩形板。

优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述通孔分别设置于所述压板的两端。

优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，还包括固定块，所述压板通过所述固定块压设于所述驱动器本体上。

优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，还包括螺纹组件，所述固定块通过分别通过所述螺纹组件固定于所述驱动器本体上。

优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述固定块的截面呈L型。

优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述固定块包括水平板和竖直板，所述水平板的一端和所述竖直板的一端固定连接，所述水平板上开设供所述螺纹组件旋合连接的螺纹孔。

优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述密封圈的一端具有同轴设置的圆柱状凸台，所述圆柱状凸台的外径与所述通孔的外径相匹配，所述密封圈的另一端外径大于所述通孔的内径。

优选的，在上述的带密封功能的隔离门驱动器中，所述压板的两端分别设有凹口，所述凹口的深度和所述圆柱状凸台的高度相匹配。

本实用新型提供的带密封功能的隔离门驱动器，通过设置压板和密封圈，所述压板上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔，所述压板固定设置于所述驱动器本体上，所述密封圈分别套设于所述撑杆上并位于所述压板和驱动器本体之间，从而可以防止驱动器本体内的作为动力源的压力油经撑杆外侧的缝隙泄露，避免泄露的压力油污染反应腔室中的晶圆，确保产品良率。

附图说明

本实用新型的带密封功能的隔离门驱动器由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的隔离门驱动器的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的带密封功能的隔离门驱动器的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例中压板的结构示意图；

图4是图3的俯视图；

图5是本实用新型一实施例中固定件的结构示意图；

图6是图5的俯视图；

图7是本实用新型一实施例中密封圈的结构示意图；

图8是图7的俯视图。

图中，1-驱动器本体、2-撑杆、3-压板、31-通孔、4-密封圈、41-圆柱状凸台，5-固定块、51-螺纹孔、6-螺纹组件。

具体实施方式

以下将对本实用新型的带密封功能的隔离门驱动器作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。