[实用新型]炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具有效

专利信息
申请号: 201320510169.2 申请日: 2013-08-20
公开(公告)号: CN203426955U 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 关英来;刘刚 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: B25B27/02 分类号: B25B27/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 炉管 反应 自动 隔挡门 密封圈 安装 工具
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及半导体领域,尤其涉及一种炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具。

背景技术

炉管反应腔自动隔挡门上的密封圈的使用寿命不长,KE GOX炉管机台中反应腔自动隔挡门上的密封圈使用寿命只有4个月,需要经常更换,每次更换都是需要用手指按压密封圈,容易造成手指受伤,如果使用硬物积压又容易发生用力过猛损伤密封圈,同时还必须忍受高温的危害。

具体来说,炉管机台闲置时温度为700度,需要降温才能开始更换密封圈的操作,700度太热,此时操作会烫伤,所以需要降温,然而,温度降的太低密封圈又太硬,很容易碎裂,在现有技术中通常选择400度时进行操作。操作时,首先利用使用小型一字螺丝刀轻轻挑出密封圈,再利用无尘布清洁沟槽,然后换上新的密封圈进行安装,在这一过程中,完全是用手指来按压,常常两三个人需要花费3个小时用力顶压密封圈,每次挤压密封圈都需要用一大块的无尘布蘸上很多水盖在手上,防止烫伤,同时,按压安装时必须始终保持对角安装,以使得密封圈均匀的被压进沟槽内。最后检查密封圈表面是否损坏。

采用此工序进行密封圈的安装,费时费力,如果用力过大,还会导致安装者手指受伤。同时,在高温下长时间作业,可能会造成烫伤。此外,如果使用硬物进行对密封圈的挤压,还有可能把密封圈压坏,成本会升高,也可能会对机台造成损伤。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种快速省力地安装密封圈,同时能够避免人的烫伤、损伤和密封圈损坏的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具。

为了解决这一技术问题,本实用新型提供了一种炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具,用以将密封圈安装到机台上的沟槽处,所述炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具包括套筒、手柄、转动圆盘和至少两个滚轮,每个所述滚轮均与所述转动圆盘连接,所述转动圆盘通过绕自身轴心的旋转驱动所述滚轮沿着所述密封圈的安装位置运动,所述滚轮滚压在所述密封圈上,所述转动圆盘还与所述手柄连接,所述转动圆盘与所述手柄通过所述手柄的转动操作实现同步旋转,所述套筒与机台固定连接,所述套筒包括一个底板,所述手柄穿过所述底板上的孔与所述转动圆盘连接,使得所述手柄仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转。

所述炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具还包括弹簧,所述弹簧位于所述手柄外侧,且所述弹簧的两端通过自身的张力分别顶住所述底板和旋转圆盘。

所述套筒还包括侧壁,所述底板与所述侧壁固定连接,所述侧壁的表面设有卡块,所述机台上设有固定支具,通过所述卡块与固定支具的固定连接,所述套筒与所述机台实现连接。

所述固定支具上设有与所述卡块匹配的卡槽,所述卡块通过放置在所述卡槽内实现所述卡块与所述固定支具的固定连接。

所述滚轮等分所述密封圈布置。

所述滚轮的数量为4个。

所述旋转圆盘平行于所述密封圈的安装位置,所述手柄与所述旋转圆盘垂直连接,且所述手柄与所述旋转圆盘的连接处位于所述旋转圆盘的圆心位置。

发明利用至少两个滚轮滚压在所述密封圈上,将其压进机台的沟槽内,为了更好地实行滚压,将滚轮与转动圆盘连接,再通过手柄驱动所述转动圆盘旋转实现滚轮的滚压运动,进而使得密封圈受到均匀的挤压进入沟槽,代替了徒手操作中对角按压的效果,同时,本发明还利用一个套筒,尤其是套筒中的底板,由于其与机台是固定连接的,当手柄穿过底板上的孔连接转动圆盘时,可以有效限制手柄的旋转和移动,使其仅能沿该孔的轴向移动和绕该孔的轴向旋转,进而保证了所述旋转圆盘的位置,亦即保证了滚轮滚压的均匀施力。提供一种快速省力地安装密封圈,同时能够避免人的烫伤、损伤和密封圈损坏的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具的机构示意图;

图中,1-机台;2-密封圈;3-沟槽;4-滚轮;5-支杆;6-旋转圆盘;7-手柄;8-套筒;81-侧壁;82-底板;9-弹簧;10-卡块;11-固定支具。

具体实施方式

以下将结合图1对本实用新型提供的炉管反应腔自动隔挡门的密封圈安装工具进行详细的描述,其为本实用新型一可选的实施例,可以认为本领域的技术人员在不改变本实用新型精神和内容的范围内能够对其进行修改和润色。

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