[实用新型]一种实验室氨气等离子处理设备

权利要求书

1.一种实验室氨气等离子处理设备，其特征在于：它包括氨气过滤装置（6），所述氨气过滤装置（6）通过管道与增压器（5）连接，所述增压器（5）通过管道与流量计（4）连接，所述流量计（4）通过管道与流量调节阀（3）连接，所述流量调节阀（3）通过管道与等离体反应器（1）连接，在流量调节阀（3）和等离体反应器（1）之间的管道上设置有加热器（2）。

2.根据权利要求1所述的一种实验室氨气等离子处理设备，其特征在于：等离体反应器（1）的结构包括高压电极（11）和接地电极（17），所述高压电极（11）和接地电极（17）分别与两个平行设置的金属电极板（19）连接，所述金属电极板（19）安装在反应器壳体（12）内，在接地极一侧的反应器壳体（12）壁上开设氨气进料口（15），在高压极一侧的反应器壳体（12）壁上开设裂解气出料口（18）；阻挡介质板（14）的开孔位置与接地电极的金属板面心相对。

3.根据权利要求2所述的一种实验室氨气等离子处理设备，其特征在于：反应器壳体(12)由保温绝缘材料制得。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的一种实验室氨气等离子处理设备，其特征在于：离体反应器（1）中氨气的流速为40ml/min。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的一种实验室氨气等离子处理设备，其特征在于：离体反应器（1）中氨气的温度为390摄氏度。

6.根据权利要求2所述的一种实验室氨气等离子处理设备，其特征在于：金属电极板（19）为不锈钢。

7.根据权利要求2或6所述的一种实验室氨气等离子处理设备，其特征在于：两平行设置的金属电极板（19）之间的间距为3mm。