[实用新型]一种线切割导轮及其线切割机床

说明书

技术领域

本实用新型涉及导轮技术领域，更具体地说，涉及一种线切割导轮及其线切割机床。

背景技术

目前，在硅片加工过程中，普遍使用线切割机床，其核心部件为线切割导轮。线切割导轮包括一圆柱形状的缸体，以及涂覆在缸体侧面的涂层，涂层一般为聚氨酯层，在聚氨酯层上设有用于控制切割线方向的多个等间隔切割槽。在线切割导轮的切割槽上布设钢线形成切割线网，将晶棒推过带动砂浆高速运动的切割线网，利用砂浆中的碳化硅微粒与晶棒进行摩擦，进而将晶棒切割成硅片。

但是现有的线切割导轮上的多个等间隔切割槽使用寿命很短，一般切割20次左右就需要对聚氨酯层进行开槽以保证线切割导轮的正常运行。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种线切割导轮及其线切割机床，线切割导轮的涂层为碳化硅层，增加了耐磨强度，提高了使用寿命。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种线切割导轮，包括：缸体，以及涂覆于缸体的表面的碳化硅层，所述碳化硅层上设有用于控制切割线方向的多个等间隔切割槽。

优选的，所述线切割导轮为截顶圆锥体，所述线切割导轮的两个侧面的直径差范围为6μm-12μm，包括端点值；

其中，所述线切割导轮的侧面直径小的一端为入线端，侧面直径大的一端为出线端。

优选的，所述缸体为截顶圆锥体，所述碳化硅层的整体厚度一致。

优选的，所述缸体为圆柱体，所述碳化硅层的厚度自所述线切割导轮的出线端到所述线切割导轮的入线端逐渐减小。

优选的，所述线切割导轮上相邻两个切割槽之间的距离范围为0.28mm-0.365mm，包括端点值。

优选的，所述线切割导轮上相邻两个切割槽之间的距离为0.335mm。

一种线切割机床，所述线切割机床的线切割导轮为上述线切割导轮。

与现有技术相比，本实用新型所提供的技术方案具有以下优点：

本实用新型所提供的线切割导轮及其线切割机床，线切割导轮的涂层采用碳化硅层，碳化硅层的耐磨强度大于聚氨酯层，在切割晶棒过程中，碳化硅层的切割槽耐磨不易受损，其使用寿命相较于现有的聚氨酯层的切割槽长，从而减少了开槽的次数和重新涂覆涂层的次数，降低了导轮更换的频率，节省了制作硅片的成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实施例提供的一种线切割导轮结构示意图；

图2为本实施例提供的一种缸体侧视图；

图3为本实施例提供的一种碳化硅层侧视图。

具体实施方式

正如背景技术所述，现有的线切割导轮上的多个等间隔切割槽使用寿命很短，一般切割20次左右就需要对聚氨酯层进行开槽以保证线切割导轮的正常运行。发明人研究发现，造成这种缺陷的原因主要有现有的涂层均为聚氨酯层，其耐磨强度不高，所以采用聚氨酯材料的切割槽容易受损，使得现有的线切割导轮的使用寿命低，而且需要频繁开槽或者涂覆聚氨酯层，增加了生产成本。

线切割导轮是线切割机床的核心部件，高质量的线切割导轮是线切割机床具有高精度、高效率的性能的保证，而线切割导轮的质量直接由涂层的耐磨强度决定。目前线切割导轮上的涂层一般为聚氨酯层，其耐磨强度不高，而且质地较软，钢线在聚氨酯层上的切割槽内滑动时，由钢线携带的碳化硅微粒与聚氨酯层发生摩擦，聚氨酯层的切割槽容易损坏而产生形变，导致切割质量低，以及切割断线等情况。

基于此，本实用新型提供了一种线切割导轮及其线切割机床，以克服现有技术存在的上述问题，包括：缸体，以及涂覆于缸体的表面的碳化硅层，所述碳化硅层上设有用于控制切割线方向的多个等间隔切割槽。

本实施例还提供了一种线切割机床，所述线切割机床的线切割导轮为上述线切割导轮。

本实用新型提供的线切割导轮及其线切割机床，线切割导轮的涂层采用碳化硅层，碳化硅层的耐磨强度大于聚氨酯层，在切割晶棒过程中，碳化硅层的切割槽耐磨不易受损，其使用寿命相较于现有的聚氨酯层的切割槽长，从而减少了开槽的次数和重新涂覆涂层的次数，降低了导轮更换的频率，节省了制作硅片的成本。