[实用新型]去胶机台

权利要求书

1.一种去胶机台，所述去胶机台包括一由腔底和环绕所述腔底一周的腔壁组成的收容空腔；所述腔底上设置有一用于承载光掩模板并带动所述光掩模板旋转的卡盘；所述腔壁上设置有一SPM喷淋系统；所述SPM喷淋系统至少包括气缸控制模块、与所述气缸控制模块连接的气缸、与所述气缸连接的安装支座、及安装于所述安装支座上与所述气缸连接并随着所述气缸的往复运动来回转动的摇杆；所述摇杆底端弯折连接有一随着所述摇杆的来回转动来回摆动的输液臂；所述摇杆侧壁设置有一与所述输液臂连通的液体接头；所述气缸的进气端设有用以控制所述气缸运动速度的节流阀，其特征在于：所述气缸控制模块包括气缸摆动控制电磁阀及脉冲继电器；所述脉冲继电器包括输入回路和输出回路；所述气缸摆动控制电磁阀连接于所述输出回路中；所述输入回路控制所述输出回路的通断从而控制所述气缸摆动控制电磁阀的通断电状态进而控制所述气缸的往复运动。

2.根据权利要求1所述的去胶机台，其特征在于：所述摇杆依次通过摇臂、曲柄机构及气缸连接组件与所述气缸连接。

3.根据权利要求1所述的去胶机台，其特征在于：所述输液臂的摆动角度范围是0～90°。

4.根据权利要求1所述的去胶机台，其特征在于：所述液体接头与一SPM混合组件连接。

5.根据权利要求1所述的去胶机台，其特征在于：所述输液臂为直线状或弯折状。

6.根据权利要求1所述的去胶机台，其特征在于：所述脉冲继电器采用电磁继电器。

7.根据权利要求1所述的去胶机台，其特征在于：所述脉冲继电器为动合型、动断型或转换型。