[实用新型]非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种防水装置，特别涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置。

背景技术

在非晶硅薄膜太阳能电池生产过程中，将清洗后的导电玻璃装入立式基片装载箱，加热到一定温度后使用PECVD法在导电玻璃基片上沉积非晶硅薄膜完成不同光吸收层电池的制作，是整个电池生产技术的关键步骤。在沉积过程中不可避免的会有非晶硅颗粒附着于装载箱体内。残留的颗粒需要清洁干净，以防止影响再次沉积导电薄膜时出现针孔、透空等镀膜不良。

对基片装载箱清洁是PECVD工艺不可忽略的难题。目前基片装载箱的清洁一般采用人工清洁和机械清洁。一般对工件架清洁擦拭的范围为：工件架两端极板边缘3-4cm，最后使用压缩N2或空气吹扫整个工件架后才能装导电玻璃。由于基片装载箱结构的复杂性，铝板之间的间距非常小，清洁死角很多，清洁难度大。使用次数达到一定的工件架要进行水洗清洁。清洗方法为纯水在每个极板表面前后从上往下依次冲洗2-3次，保证每个基板都冲洗到。工件架在清洗过程中，由于采用高压水枪对基板就行清洗，在清洗过程中水不可避免的会进入射频电极头和特气口。

目前生产上采用清洗前使用保鲜膜将电极头和进气口包住，防止水进入。但是，捆扎电极头存在以下问题：1、电极头本身有棱角和压杆，并且电极头上还会插有垫片，当前所用保鲜膜捆扎时，可能会刮破甚至会有小块保鲜膜残留在电极头上，如果不能及时有效去除，在之后的预热和沉积过程就会对工艺造成影响。2、用保鲜膜捆扎电极头时，18个电极同时捆扎，不是分别捆扎每一个电极头，同时不同人员捆扎手法不同，所以会存在捆扎不严的现象，清洗过程有可能出现电极头进水的情况，影响电极头使用寿命以及沉积工艺。3、用保鲜膜捆扎不严进水，还会导致电极杆氧化现象。4、用保鲜膜捆扎特气口时，特气口易磨损、且因磨损导致连接不良。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，该非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置分别捆扎每一个电极头，捆扎较严，清洗过程不会出现电极头进水的情况，不影响电极头使用寿命，避免电极杆氧化现象发生；另外，不会刮破电极头、不影响预热和沉积工艺，此外，不会磨损特气口、且防止因磨损导致连接不良。

为解决上述技术问题，本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，包括电极头防水装置和特气口防水装置，电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，长方体壳体包括上壳体和下壳体，上壳体前面下端开有N个上半圆形孔，下壳体前面上端开有与N个上半圆形孔相匹配的可组合成N个圆形孔的N个下半圆形孔。

如此设计，可实现分别捆扎每一个电极头，捆扎较严，清洗过程不会出现电极头进水的情况，不影响电极头使用寿命以及沉积工艺。

作为优化，包括硅胶圈，硅胶圈环形围绕卡设在上壳体和下壳体的开合处。如此设计，密封性较好。

作为优化，上壳体的左右两端设有卡扣。如此设计，便于安装、且使用方便。

作为优化，上壳体和下壳体的后面开合处通过两个铰链连接。如此设计，可折叠、使用很方便。

作为优化，上壳体前部下端开有18个上半圆形孔，下壳体前部上端开有与18个半圆形孔相匹配的18个下半圆形孔。

作为优化，特气口防水装置包括底部圆柱体、设置在圆柱体边缘上的半圆弧形连接件、设置在半圆弧形连接件上方的U型体，圆柱体、半圆弧形连接件和U型体为一整体结构。如此设计，不会磨损特气口、且防止因磨损导致连接不良。

本实用新型非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，设计科学、分别捆扎每一个电极头，捆扎较严，清洗过程不会出现电极头进水的情况，不影响电极头使用寿命，避免电极杆氧化现象发生；另外，不会刮破电极头、不影响预热和沉积工艺，此外，不会磨损特气口、且防止因磨损导致连接不良。具有较好的实际应用价值和推广价值。

附图说明

下面结合附图对本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置作进一步说明：

图1是本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置的电极头防水装置的装配结构示意图；

图2是本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置的特气口防水装置的结构示意图。 

图中：1为上壳体、2为下壳体、3为上半圆形孔、4为下半圆形孔、5为硅胶圈、6为卡扣、7为铰链、8为圆柱体、9为半圆弧形连接件、10为U型体。

具体实施方式