[实用新型]一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、射频模块有效

申请号：	201320526762.6	申请日：	2013-08-27
公开（公告）号：	CN203416228U	公开（公告）日：	2014-01-29
发明（设计）人：	朱欣恩	申请（专利权）人：	张家港恩达通讯科技有限公司
主分类号：	H03H3/02	分类号：	H03H3/02;H03H9/17
代理公司：	北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250	代理人：	张建纲
地址：	215614 江苏省***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种薄膜声波谐振器滤波器振荡器射频模块
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【权利要求书】：

1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括衬底层（1）和制备于所述衬底层（1）上的环形功能层（2）；所述环形功能层（2）包括沿远离所述衬底层（1）方向设置的第一电极（201）、铁电材料层（202）和第二电极（203）；所述衬底层（1）上开设空气空腔（101），所述空气空腔（101）横向上面积大于所述环形功能层（2）外边界所围成的面积。

2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述环形功能层（2）包括但不限于圆形环状结构、方形环状结构、多边形环状结构。

3.根据权利要求2所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述环形功能层（2）的内边界和外边界间的宽度为100nm-20um。

4.根据权利要求1-3中任一所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，还包括支持层（3），所述支持层（3）设置于所述衬底层（1）和所述环形功能层（2）之间。

5.根据权利要求4所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述支持层（3）为SiO₂层。

6.一种滤波器，包括权利要求1-5任一所述的薄膜体声波谐振器。

7.一种振荡器，包括权利要求1-5任一所述的薄膜体声波谐振器。

8.一种射频模块，包括双工器或多工器，所述双工器或所述多工器中的薄膜体声波谐振器采用权利要求1-5任一所述的薄膜体声波谐振器。

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